北方華創刻蝕機1000腔順利交付：12英寸已實現客戶端28nm國產化替代
據北方華創官方發布， 12 月 1 日，北方華創 lCP 刻蝕機 1000 腔交付儀式在亦莊基地隆重舉行。
IT之家獲悉，北方華創公司于 2001 年成立，開始組建團隊鉆研刻蝕技術，2004 年首臺設備實現成功起輝，2005 年第一臺 8 英寸 ICP 刻蝕機在客戶端上線，并于 2007 年獲得國家科學技術進步二等獎。
在集成電路領域獲得突破的同時，北方華創在積極將刻蝕技術橫向拓展，目前應用領域已覆蓋集成電路、LED、先進封裝、功率半導體、MEMS、化合物半導體、硅基微顯等多個領域。12 英寸 ICP 刻蝕機在實現客戶端 28nm 國產化替代同時，在 14/7nm SADP/SAQP、先進存儲器、3D TSV 等工藝應用中也發揮著重要作用。
責任編輯：haq
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