IT之家 11 月 16 日消息 據韓國媒體 BusinessKorea 上周報道,韓國本土企業在 EUV 光刻技術方面取得了極大進展。但并沒有提到是哪一家企業,合理推測應指代韓國整個半導體光刻產業。
EUV 光刻技術是多種先進技術的復合體,例如多層反射鏡,多層掩模,防護膜,光源和注冊表(registries)。
在過去的十年中,包括三星電子在內的全球公司進行了深入的研究和開發,以確保技術處于領先地位。最近,代工公司(意指三星)開始使用 5 納米 EUV 光刻技術來生產智能手機的應用處理器(AP)。
按公司劃分,全球六大公司的專利申請數占了總數的 59%,卡爾蔡司(德國)占 18%,三星電子(韓國)占 15%,ASML(荷蘭)占 11%,S&S Tech(韓國)占 8%。),臺積電(臺灣)為 6%,SK 海力士(韓國)為 1%。
從具體的技術項目來看,曝光裝置技術申請專利占 31%,掩膜技術申請專利占 28%,其他申請專利占 9%。在工藝技術領域,三星電子占 39%,臺積電占 15%。在光罩領域,S&S 科技占 28%,Hoya(日本)占 15%,漢陽大學 (韓國)占 10%,朝日玻璃 (日本)占 10%,三星電子占 9%。
IT之家了解到,韓媒還提到了韓國專利數量,據韓國知識產權局 (KIPO)發布的《近 10 年 (2011-2020 年)專利申請報告》顯示,2019 年,韓國提交的專利申請數量為 40 件,超過了國外企業的 10 件。
韓媒稱這是韓國提交的專利申請量首次超過國外企業。到 2020 年,韓國提交的專利申請也將是國外企業申請的兩倍以上。
責任編輯:PSY
-
韓國
+關注
關注
0文章
57瀏覽量
18957 -
光刻技術
+關注
關注
1文章
151瀏覽量
16529 -
EUV
+關注
關注
8文章
615瀏覽量
88811 -
專利申請
+關注
關注
0文章
6瀏覽量
6863
發布評論請先 登錄
中國打造自己的EUV光刻膠標準!
俄羅斯亮劍:公布EUV光刻機路線圖,挑戰ASML霸主地位?
上海光機所在全息光刻研究方面取得進展
【「AI芯片:科技探索與AGI愿景」閱讀體驗】+半導體芯片產業的前沿技術
EUV光刻膠材料取得重要進展
比DDR5速率快兩倍以上!DDR6已進入平臺驗證
中科院微電子所突破 EUV 光刻技術瓶頸
韓國EUV光刻技術方面取得極大進展 專利申請是國外的兩倍以上
評論