隨著物聯網技術在工業領域中的應用，工業互聯網成為發展的方向和趨勢。氣體流量參數是工業生產、科學實驗計量和各種經濟核算所必須的重要數據，是能源計量的重要組成部分。在工業自動化程度方面的應用越來越廣泛。而當今時代，氣體流量傳感器在國民經濟中的作用越來越明顯：比如天然氣、冶金、礦山、石油、航空、工業包裝、工業潔凈等領域都有氣體流量傳感器的身影。下面帶大家了解一下流量傳感器在工業領域中的相關應用吧。

測量流體流量的儀表統稱為流量計或流量表，是工業測量中重要的儀表之一。流體流量的測量在工業自動化生產和過程控制中占有重要地位。流體大致分為液態和氣態兩種介質，對這兩種介質測量的關鍵零部件就是流量傳感器。

通過氣體流量的測量，人們可以掌握流動過程、進行生產工藝的自動控制、實施能源管理。在先進的精密制造車間，比如晶圓、精密儀器制造等都需要在潔凈車間里進行生產。而潔凈車間的空氣，必須達到千級，甚至百級的潔凈度才能滿足生產的要求。封閉的潔凈車間需要每天置換潔凈的空氣。這就需要流量傳感器進行自動監測和控制，既能滿足生產的需要，又能控制不必要的過度能源消耗，有效提高投入產出比。美國Siargo 氣體質量流量傳感器 － FS4001使用siargo專有的MEMS流量傳感器與封裝技術。該傳感器的測量范圍是0～ 30 sccm到0 ～ 1000 sccm。每個模型的流量是通過專門設計的封裝，以及智能電子產品，以便達到適宜的靈敏度。

該包裝盒是由化學惰性和熱穩定的聚碳酸酯材料制成的。壓力等級較高是5BAR（73 PSI），受益于siargo獨特的MEMS芯片結構、特殊包裝技術和堅固耐用的傳感器外殼。可用于廣泛的應用范圍包括儀器（如氣相色譜質譜法）、泄漏檢測、過程控制、氣體流量計量以及醫療應用。FS4001需要8 ～ 24 VDC電源提供一個模擬和／或數字用戶接口。模擬輸出是線性的從0．5到4．5 VDC從0到滿刻度流量相應。數字輸出是通過RS232傳輸。RS232通信協議可以在本手冊中找到。

其次根據工業用途的不同，應用的傳感器可分為流量與微流量兩種。比如需要添加氧氣進行催化反應、薯片包裝的氮氣填充等，都要進行微流量控制，以便達到理想的監控效果。工采網提供的微流量傳感器 － F1031是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測，具有很好的精度與重復性。F1031微流量傳感器內置有溫度傳感器，每只都進行專有的溫度補償校準；同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

芯片是由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成：熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結加熱。熱偶堆熱結和冷結之間的溫度梯度導致輸出電壓，即本征塞貝克效應。加熱電阻兩側的等溫線，當流體靜止時，等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對稱分布，加熱電阻兩側對稱位置的溫度是相同的。當流體從左向右流動時，等溫線向右側傾斜。加熱電阻兩側對稱位置的溫度不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質量和流體的熱容有關，因此傳感器可直接測出流體質量流量。

此外，還有需要氮氣、氨氣、惰性氣體等進行生產的工業用品，這些都離不開氣體流量傳感器進行測量監控，工采網提供的FS4000系列質量流量傳感器是采用的微機電系統流量傳感器技術和智能電子控制技術，為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環境采樣器（如色譜分析儀器等）。FS4003氣體質量流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。FS4008氣體質量流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等。

責任編輯：gt