全球光刻機大廠ASML（艾司摩爾）在日前的2020 年第4 季與全年財務電話會議上透露，2020年全年ASML營收達到140億歐元，其中有45 億歐元的收入來自EUV（極紫外光微影）設備的銷售，而DUV（深紫外光微影）設備則是創下73億歐元的紀錄。總裁暨執行長Peter Wennink 表示，2021 年的EUV 設備供應仍將因關鍵元件備貨不足而持續吃緊。

而值得注意的是，以2020 年來看，臺灣在ASML銷售地區占比雖仍維持最高，但從前一年的51% 下降至36%，反之，南韓則是從16% 上升至31%，來自三星的設備需求是推動南韓市占的最大因素。另一方面，中國雖然遭受貿易制裁，無法取得EUV 設備，但其他設備的銷售仍使中國的銷售占比從12% 上升至18%。

至于全世界最關注的先進制程與EUV 設備供應方面，Peter Wennink 表示，由于受到客戶預定數量的影響，2021 年的EUV 設備產能將不會有太大的成長。

實際上，2020 年初因為疫情影響，多數電子產品需求預估皆悲觀，這使得不論是先進邏輯晶片，或者是記憶體晶片的需求都被嚴重低估。市場根據Peter Wennink 的發言研判，2020 年由于英特爾取消了預定的EUV 設備，所以臺積電、三星都分到比預期更多的EUV 設備。但臺積電因為原本談好的3 奈米客戶被制裁而無法下單，因此原本在2021 年預定的EUV 機臺數量也大幅削減。而雖然Peter Wennink 并沒有提到三星有什么變動，但根據三星從去年開始大增的資本支出來看，極可能已趁機擴大其EUV 機臺儲備。

由于EUV 的交期長達20 個月，如果前一年沒有確定好數量，那么就只能等待下一個預定與出貨的時程循環，因此在2020 年底，臺積電回頭想要緊急加回新年度的EUV 機臺預定量，ASML也愛莫能助。不過Peter Wennink 強調，2021 年下半年的新型號機臺3600D 將取代既有的3400C，其產能增加了15%，可以相當程度舒緩晶圓代工廠產能的緊繃。

機臺產能雖受限，但新機臺效率可提升15%

Peter Wennink 在會議上指出，EUV 機臺需要許多關鍵零組件與光學元件，這些元件的制造非常困難，事實上為了臺積電的追加訂單，ASML也詢問相關供應鏈是否能緊急增產，補足原本計劃中不足的部分，但得到的回應也是無能為力。他認為，原本要在2021 年達到50 部是沒有問題的，但受限于關鍵零件的供應，ASML無法讓產能滿載。不過因為訂單不斷，隨著這些關鍵料件的補齊，Peter Wennink 認為2022 年ASML將可能全力運轉，達到50 部的產能目標。

會議中，也有分析師詢問，如何看待全球的市場布局。Peter Wennink 認為，中國的設備需求仍將持續增長，不過主要會集中在記憶體的部分，邏輯芯片代工由于受到美國法律的限制，Peter Wennink 沒有辦法給出明確的答案，但他樂觀認為，如果美國政府依照目前的步調走下去，那么中國的邏輯芯片制造設備市場仍將會有很明顯的上升空間。

Peter Wennink 補充說，2021 年另外一個可見的趨勢，那就是會有越來越多EUV 設備被使用于記憶體的生產當中，不過僅限于DRAM，他并不看好NAND 使用EUV 設備的必要性。由于電子消費市場的復蘇，這方面的需求可預期會有很大的成長。

編輯：hfy