MEMS（微機電系統）是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過40多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，微米量級的特征尺寸使它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器等，以及它們的集成產品。

5月22日-23日，由淄博市人民政府主辦、淄博高新區管委會承辦的第二屆中國(淄博)MEMS產業發展高峰論壇召開，淄博市委書記江敦濤，市委常委、副市長宋振波，淄博高新區工委書記、管委會主任魏玉蛟，以及國內MEMS領域頂尖技術專家、知名企業家、投資機構負責人等150余人參加了論壇。大家集思廣益，共同探討MEMS發展務實高效新路徑，謀劃引領發展新項目，合力將淄博打造成為以MEMS傳感器為特色的電子信息產業高地。

中國工程院院士、清華大學副校長尤政、中科院上海微系統所與信息技術研究所教授王躍林、清控資產管理集團總裁薛嘉麟等6位權威專家，分別進行了精彩演講，介紹最前沿的技術動態，聚焦前沿的MEMS產業技術及產品應用，分析和研判了當前MEMS產業發展形勢，探討和展望了MEMS領域技術突破和投資機遇。

市場廣闊。MEMS是繼微電子之后又一個顛覆性技術，也是被發達國家封鎖和壟斷的高新技術。MEMS技術屬于多學科交叉的前沿科技領域，具有功耗低、集成度高、耐用性好、附加值大的優勢，在汽車、智能家電、國防軍工、消費電子等領域有著廣泛的應用，是當今時代萬物互聯的基石，是各個國家參與全球高科技競爭的戰略制高點，背后蘊藏著巨大商業價值和國家利益。

“當前正處于MEMS產業發展的黃金時期，淄博已經占了先機。”中國工程院院士、清華大學副校長尤政說：“今后MEMS產業將在淄博未來發展中占據非常重要的位置，發揮更大的作用。”

慧眼識珠提前布局。MEMS產業戰略論壇、國內最大的MEMS產業園花落淄博，這是淄博多年精心培育的結果——十年前，這項高端技術尚“養在深閨人未識”，距離產業化尚有較大距離，有集成電路產業基礎的淄博獨具慧眼，與尤政聯合成立了MEMS研究院。

魏玉蛟告訴記者，為破解高新技術企業融資難題，淄博高新區最先投入了1.6億元，為研究院搭建了具有國際先進水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺，讓專家的成果有了“高端”檢驗設備。

為加快科技成果轉換，淄博高新區高標準規劃建設以MEMS產業孵化器為核心的電子信息產業園。園區立足打造MEMS、集成電路、智能傳感器、儀器儀表等優勢產業鏈和產業聚集區，聚集了新恒匯、齊芯微、臺灣強茂電子等45家企業入園發展，可為入園企業及高層次人才提供設計、研發、中試、孵化、產業化等功能為一體的科研產業化綜合服務；園區實行“園區管委會+運營公司+產業基金+N服務”的創新管理體制，與清華同方、北航大學科技園等國內知名機構合作，共同建設了國家級電子信息科技企業孵化器、MEMS研究院、MEMS產業孵化器、北航天匯科技孵化器（淄博）科創中心和省級MEMS眾創空間等10個創新創業平臺。

為讓MEMS產業園的企業迅速發展壯大，淄博高新區創新實施“專家委員會+研發平臺+專業公司+基金”的招商機制，集中招引具有重要引領帶動作用的國內外高層次人才和大項目、好項目。同時設立了8只基金，針對企業不同發展時期的不同需求，精準服務，目前已投資8.3億元。

一個個平臺滿足了科研人員研發中試和小批量生產的需求，這在全國獨一無二。有了施展本領的舞臺，研究院很快吸引了包括4名院士在內的43位國內外MEMS領域“大拿”。

按捺不住創業激情的專家們干脆“披掛上陣”，通過個人出資、技術入股、動員導師、同學、學生、朋友辦企業等多種形式，來到產業園，成立公司，專家們親自“操刀”，實現了從論文（理論）、到實驗室再到市場的無縫銜接。

目前，MEMS產業園已經累計開發MEMS芯片單項工藝180項，產品工藝30多項，自主研發項目25個，引進高端產業項目45個，為打造千億級電子信息產業園奠定了扎實基礎。

自2018年首屆論壇以來，淄博高新區MEMS產業發展呈現爆發式增長，每年產業產值增速均超30%，汽車MEMS陀螺、壓電陶瓷MEMS器件、濺射薄膜工藝(淄博)協同創新中心項目等高端產業項目落地園區，形成了集MEMS芯片設計研發、工藝加工、封裝測試、產品應用等為一體的綜合性研發產業基地，MEMS芯片產業已經成為引領區域高質量發展的“芯”動能。

從產業園到產業鏈。“我每年都到淄博來，淄博的MEMS產業起步早、發展快。”研究員馬岸英表示，現在淄博已經有了中試線和一定的加工能力，但要更大規模生產，還需要再添加更多生產線，提升產量，形成以MEMS為基礎的大的產業鏈條。馬岸英此次前來，除了參加論壇，還有一個更重要的任務，就是與MEMS產業研究院繼續進行對接，進一步協商研究成果落地的具體細節。

山東佰測傳感科技股份有限公司是首批進駐淄博MEMS產業園的企業，總經理丁立新告訴記者，選擇落戶淄博MEMS產業園，正是看中了研究院的科技優勢，以及高新區雄厚的產業基礎和完善的產業鏈條。

2018年1月15日開始正式運營的山東新恒匯電子科技有限公司，發展步伐既快又穩，是淄博高新區電子信息產業園的骨干企業。當年投資2億元建設新型IC卡芯片封裝載帶生產及芯片封裝測試項目，新建了3000㎡的生產車間、5000㎡的倉庫，引進國際最先進的高精度表面處理機、全自動對位平行光曝光機載帶生產設備和模塊封裝測試生產設備82臺(套)。當年實現IC卡封裝框架產量15億顆，模塊6億顆，銷售收入3.15億元，帶動就業200人，載帶與封裝業務占全球市場的20%。之后又新上了超大規模集成電路用金屬引線框架項目和eSIM封裝項目。今年，將投入2000萬元研發資金，并有意向并購有潛力的同行或者上下游企業。“有不斷研發的新技術和淄博全方位無微不至的優質服務做后盾，我們今年仍然將實現銷售收入和利稅分別增長30%的目標！”既是業內專家又是商場精英的新恒匯董事長任志軍信心滿滿。

魏玉蛟表示，淄博高新區將以此次論壇為契機，在平臺構建、生態建設、產業元素打造、資本合作、資源整合等方面加大力度、加速推進，深化與科研界、產業界、金融界的交流合作，推進MEMS技術和產品在淄博的研發和產業化，帶動我國MEMS相關產業的技術提升。

江敦濤在論壇結束后會見參會嘉賓時說，淄博正在聚力聚焦“創新綠色、動能轉換優存量，著眼未來、引領高端擴增量”，集中打造新材料、智能裝備、新醫藥、電子信息“四強”產業，一批新技術、新產業、新業態、新模式不斷涌現，老工業城市煥發勃勃生機，發展后勁越來越強勁。

“淄博市各級黨委、政府將竭盡全力呵護MEMS產業的成長壯大，為創新創業提供最優的營商環境，努力打造MEMS傳感器為特色的電子信息產業新高地。”江敦濤說，去年淄博出臺了“人才金政37條”，今年又把對標學習深圳優化營商環境攻堅作為“一號改革工程”，歡迎企業家把更多的新項目、新技術、新產品放在淄博，“我們將全力為電子信息企業在淄發展創造更好條件、提供更優生態。”