據(jù)中國國際招標網(wǎng)日前披露,長江存儲發(fā)布新一輪(第41批)國際招標公告,包括封裝級高并行度芯片分選機、高速芯片測試機等產(chǎn)品。
另外,由長江存儲實施的國家存儲器基地項目二期項目近日在武漢東湖高新區(qū)開工,規(guī)劃產(chǎn)能20萬片/月,達產(chǎn)后與一期項目合計月產(chǎn)能將達30萬片。
華創(chuàng)證券指出,長江存儲累計已采購1362臺工藝設備,正在招標430臺工藝設備,總采購1792臺工藝設備。近期還有200多臺設備采購計劃,主要包括CVD、刻蝕、量測、去膠設備等。此外,長江存儲二期項目的開工,也將給國產(chǎn)設備帶來市場機遇。
事實上,近年來,國產(chǎn)量測設備廠商已經(jīng)陸續(xù)獲得長江存儲訂單,例如,僅2020年以來,已有中微半導體和精測電子分別中標長江存儲9臺刻蝕設備訂單和3臺集成式膜厚光學關(guān)鍵尺寸量測儀。而在此之前,上海睿勵,中科飛測等國產(chǎn)量測設備廠商也已經(jīng)陸續(xù)獲得了長江存儲訂單。
半導體設備行業(yè)一直以來都是高技術(shù)壁壘的行業(yè),需要長時間持續(xù)地投入研究,才能實現(xiàn)技術(shù)突破。國內(nèi)半導體設備行業(yè)起步晚于歐美和日本,整體技術(shù)水平目前還遠落后于國際先進水平。不過令人欣慰的是,隨著國內(nèi)半導體行業(yè)的快速發(fā)展,國家層面的高度重視,國內(nèi)半導體設備在部分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破。
各類制程設備的國產(chǎn)化率如下:
(1) 去膠設備:國產(chǎn)化率最高的是去膠設備,主要是屹唐半導體實現(xiàn)了去膠設備國產(chǎn)化;
(2) 清洗設備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌主要是盛美半導體、北方華創(chuàng);
(3) 刻蝕設備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌包括中微半導體、北方華創(chuàng)、屹唐半導體;
(4) 熱處理設備:國產(chǎn)化率約為20%左右,本土品牌包括北方華創(chuàng)、屹唐半導體;
(5) PVD設備:國產(chǎn)化率約為10%左右,本土品牌包括北方華創(chuàng);
(6) CMP設備:國產(chǎn)化率約為10%左右,本土品牌包括華海清科;
(7) CVD設備:有零的突破,但總體國產(chǎn)化率不高于5%,本體品牌是沈陽拓荊;
(8) 量測設備:國產(chǎn)化率2%左右,本土品牌包括上海睿勵、中科飛測、上海精測半導體;
(9) 離子注入機:國產(chǎn)化有零的突破,本土品牌包括中科信、凱世通等;
(10) 涂膠顯影設備:國產(chǎn)化有零的突破,本土品牌包括沈陽芯源;
(11) 光刻設備:預計國產(chǎn)化將有零的突破,本土品牌是上海微電子。
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