隨著光通信網絡的快速發展，傳統以電為核心的通信器件已經不能滿足高速大容量的光通信需求，MEMS光開關由于其體積小，易集成，容量大等特點，已成為全光通信網中的重要器件之一。

MEMS光開關是基于微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System）實現光路切換的器件。其功能如下圖所示：

其中MEMS是指將微型機械、微型執行器、信號處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統。MEMS光開關原理十分簡單，當進行光交換時，通過靜電力或磁電力的驅動，移動或改變MEMS微鏡的角度，把輸入光切換到光開關的不同輸出端以實現光路的切換及通斷。其原理圖如下圖所示：

相較于傳統的機械光開關，MEMS光開關具有以下優點：

1.體積小，交換容量大

2.MEMS芯片可以成批量生產，故單個成本不高

MEMS光開關在OXC, MCS，光纖線路保護及監控，光纖傳感，設備復用保護等方面都有著重要的應用。