日本采取對(duì)韓出口限制措施后，韓國(guó)國(guó)內(nèi)正積極尋求日本氟化氫替代方案。三星電子與SK海力士等半導(dǎo)體公司緊急派遣采購(gòu)小組以尋找氟化氫廠商。除了海外企業(yè)外，也努力尋求本土企業(yè)以實(shí)現(xiàn)供應(yīng)國(guó)家多元化。

日本采取出口限制的氟化氫大體可分為液體氟化氫和氣體氟化氫兩種。氟化氫可以去除半導(dǎo)體晶圓氧化膜以減少chip不良。液體氟化氫由日本的森田和Stella占據(jù)大部分市占率，而氣體由日本昭和電工占據(jù)大部分市場(chǎng)。若日本限制時(shí)，韓國(guó)半導(dǎo)體制程將會(huì)亮起紅燈。

三星電子和SK海力士在過去一個(gè)月時(shí)間里，從最高領(lǐng)導(dǎo)層到采購(gòu)職員都忙碌于在全球各地尋找其庫(kù)存。

截至目前來看，中國(guó)大陸和***為替代優(yōu)選方案。據(jù)傳，SK海力士在和中國(guó)凱圣氟化學(xué)接觸以協(xié)商供應(yīng)案，而三星電子則在測(cè)試中國(guó)濱化集團(tuán)的產(chǎn)品。兩家企業(yè)皆為中國(guó)最知名的氟化氫企業(yè)。

三星電子為供應(yīng)多元化也曾接觸過國(guó)際化學(xué)企業(yè)B公司，但最終因條件不符導(dǎo)致中斷協(xié)商。韓國(guó)材料業(yè)界人士表示：中華區(qū)企業(yè)的純度并非為可替代日本Stella或森田的程度，應(yīng)該需要先進(jìn)行緊急采購(gòu)后逐步進(jìn)行調(diào)節(jié)。

而也有相關(guān)人士認(rèn)為：兩家公司連供應(yīng)TSMC的小供應(yīng)量企業(yè)都不放過，以籌集氟化氫 。除了中華區(qū)的供應(yīng)外，兩家公司也正在尋求韓國(guó)本土的替代方案。液體氟化氫的缺口部分將會(huì)有韓國(guó)Soulbrain彌補(bǔ)，位于忠南的新工廠計(jì)劃于9月啟動(dòng)。據(jù)業(yè)界人士正式Soulbrain既有供應(yīng)經(jīng)驗(yàn)，而新設(shè)的工廠產(chǎn)能規(guī)模也是相當(dāng)。

濕蝕刻氟化氫用途 （圖片來源：etnews）

氣體氟化氫的韓國(guó)本土替代方案則被傳由SK Materials供應(yīng)。公司目標(biāo)年內(nèi)供應(yīng)SK海力士樣品。三星電子也計(jì)劃與本土氣體制造商F公司和M公司合作進(jìn)行測(cè)試。

但關(guān)鍵還是在尋找氟化氫的完美替代方案之前可以撐多長(zhǎng)時(shí)間。日本將出口審查時(shí)間定為90天，意味著至少要有足夠庫(kù)存撐到9月份，并在這期間迅速提升技術(shù)力。

因半導(dǎo)體是一種精細(xì)制程，必須要慎重選擇以避免良率影響。也有業(yè)界推測(cè)假設(shè)測(cè)試品結(jié)果滿意的前提下，也依然需要至少2~3個(gè)月時(shí)間才能應(yīng)用到制程中。

而韓國(guó)認(rèn)為選擇中華區(qū)的替代方案也并非是完全可以放心的方案。若與中國(guó)廠商合作時(shí)，相當(dāng)于是變相的扶持中國(guó)半導(dǎo)體材料企業(yè)，最終會(huì)使中國(guó)半導(dǎo)體廠商成為最大受益者。