7月26日消息,為應對日本出口限制,韓國大企業(yè)開始展開脫日行動,SK集團計劃通過子公司生產高純度氟化氫,并在明年上半年投入量產。
據韓國《etnews》、《朝鮮日報》等多家媒體報道,SK集團子公司SK Mertials計劃今年完成試制品,籌備生產高純度氟化氫。SK Mertials相關人士表示,正在開發(fā)相關生產設備,目標是在年底提供樣品。
在日本對韓出口限制名單中,氟化氫便是其中一個品項,韓國氟化氫有41.9%從日本進口,其中高純度氟化氫(99.999%以上)有9成以上依賴日本。
氟化氫是半導體材料蝕刻氣體的原料之一,在芯片制造工程中,用于刻畫電路、清潔硅片異物,其中氣態(tài)與液態(tài)的氟化氫能夠混合使用,液態(tài)產品被稱為蝕刻液,氣態(tài)則是蝕刻氣體。
SK Mertials計劃制造氣態(tài)的氟化氫,即蝕刻氣體,并供應給半導體業(yè)界。《etnews》指出,由于SK年底才會推出樣品,明年上半年有望投入正式量產。
SK Mertials自1982年起生產半導體材料,是韓國首度國產化三氟化氮(NF3)的企業(yè),三氟化氮為半導體、顯示器、太陽能電池原料之一,此外也生產工業(yè)燃氣六氟化鎢(WF6),供貨給石油產業(yè)、鋼鐵產業(yè)。
雖然SK Mertials擁有豐富制造經驗,但首次生產氟化氫引起外界關注。SK Mertials對此表示,過去曾處理過原料氟,并累積許多相關制造經驗,擁有制造高純度氟化氫的實力。
SK Matials尚未公布投資規(guī)模、生產能力(CAPA)等細節(jié),加上產品也需經過質量鑒定,能否應用到半導體制程仍是未知數。
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原文標題:SK集團明年自主生產氟化氫!
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