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設計和操作
配備有角隅反射棱鏡的MI系列微型干涉儀屬于精密測長儀器，其設計旨在可以同用戶系統(tǒng)相組合，并適用于各種類型的實驗設備和實驗任務。微型傳感測頭和角隅反射棱鏡可永久安裝在計量系統(tǒng)內(nèi)。光纖耦合的傳感測頭不僅有益于多種類型的應用，而且使整個測量系統(tǒng)更具通用性。
微型化的干涉頭將角隅反射棱鏡的運動轉(zhuǎn)換為光學干涉信號，并傳入光電信號處理/電源供給單元進行處理并輸出為長度值。
在較大動態(tài)范圍內(nèi)進行穩(wěn)頻的He-Ne激光以及環(huán)境因素對激光波長影響的修正構成其高計量精度的基礎。
儀器本身不含線性誤差。儀器操作及測量結果顯示既可用分離的鍵盤/顯示單元，也可用PC運行可選的軟件包。
干涉儀
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