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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>SnO2-Ag-SnO2 結(jié)構(gòu)元件室溫下對(duì)H2S的敏感特性研

      SnO2-Ag-SnO2 結(jié)構(gòu)元件室溫下對(duì)H2S的敏感特性研

      2010-02-26 | rar | 689 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      SnO2-Ag-SnO2 結(jié)構(gòu)元件室溫下對(duì)H2S的敏感特性研究

      以SnCl4 和O2 為源物質(zhì),采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積( PECVD) 和浸漬法摻Ag 技術(shù)制備了SnO2-Ag2SnO2 結(jié)構(gòu)薄膜,在20 ℃下該結(jié)構(gòu)薄膜對(duì)H2S具有良好的氣敏特性,即高靈敏度、良好的選擇特性和開(kāi)關(guān)式響應(yīng)特性。

      元件 敏感 室溫
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