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微電子機械系統(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指運用微電子加工技術和微機械加工技術,在較小的物理尺寸上,集成了微機械元件,微傳感器,微機械執行器,微電子元件、電路和供能部件的器件或是系統。目前供能問題已經成為MEMS 降低成本、進入實用化、自動化的最大障礙?，F有的一個解決方案是微能源。介紹了微能源技術的發展和技術現狀,分別討論了微型內燃機系統、微燃料電池、微太陽電池、微型鋰電池、微型核電池等幾種微能源的制造工藝,工作特性以及應用現狀。簡單分析了微能源的發展方向和應用前景。
關鍵詞:微電子機械系統(MEMS) ;微能源;制造工藝;工作特性
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傳感器
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