国产精品久久久aaaa,日日干夜夜操天天插,亚洲乱熟女香蕉一区二区三区少妇,99精品国产高清一区二区三区,国产成人精品一区二区色戒,久久久国产精品成人免费,亚洲精品毛片久久久久,99久久婷婷国产综合精品电影,国产一区二区三区任你鲁

電子發燒友App

硬聲App

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

搜索歷史

清空
搜索熱詞
      0
      • 聊天消息
      • 系統消息
      • 評論與回復
      VIP于 到期 續費
      登錄后你可以
      • 下載海量資料
      • 學習在線課程
      • 觀看技術視頻
      • 寫文章/發帖/加入社區
      會員中心
      創作中心
      發布
      創作活動

      完善資料讓更多小伙伴認識你，還能領取20積分哦，立即完善>

      3天內不再提示
      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>如何進行電子束光刻中的相互鄰近效應校正技術研究與分析

      如何進行電子束光刻中的相互鄰近效應校正技術研究與分析

      2018-12-05 | rar | 3.41 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　本文研究了 基于形狀修正的電子束光刻分級鄰近效應校正技術，在內部鄰近效應校正的基礎上，在計算圖形之間產生的相互鄰近效應過程中，采用了局部曝光窗口和全局曝光窗口機制。局部曝光窗口的區域小，對計算精度影響大，采用累積求和的方法進行精確計算;全局曝光窗口區域大，對計算精度影響小，采用大像點近似的方法進行計算，從而更快速地實現鄰近效應校正。該技術的應用，滿足了校正精度和運算速度兩方面的要求。實驗結果與模擬結果一致，表明通過采用局部曝光窗口和全局曝光窗口機制，能夠快速地實現相互鄰近效應校正，在校正精度相同的情況下，有效提高了運算速度。

      　　微細加工技術是制備超大規模集成電路的關鍵技術，它可以按照設計圖形實現高精度的微型器件加工。隨著現代科學技術的不斷發展，對集成電路分辨率的要求越來越高，這就對圖形加工技術提出了更高的要求。電子束光刻是極好的高分辨率圖形加工技術，理論上其分辨率可達3~8nm ，但是。由于電子在抗蝕劑和基片中可產生多達數微米的散射，因此抗蝕劑中某一點所吸收到的能量沉積會受到該點和相鄰曝光點人射電子劑量的影響。在較大曝光區域的中心會包含來自周圍人射電子的很多分量，而該區域的拐角和邊緣處沒有接收到相同的總劑量，導致顯影圖形發生偏移。如果邊緣處的吸收能量密度正好為顯影閾值，那么其拐角處則不能顯影出所希望的位置，這稱為內部鄰近效應”。當相鄰的圖形相距很近時，則產生共同的曝光效應，使相鄰圖形之間彼此向對方凸出和延伸，甚至形成橋接現象，這稱為相互鄰近效應”。

      集成電路 電子束
      加入交流群
      微信小助手二維碼

      掃碼添加小助手

      加入工程師交流群

      下載該資料的人也在下載 下載該資料的人還在閱讀
      更多 >

      評論

      查看更多

      下載排行

      本周

      1. 1MDD品牌三極管MMBT3906數據手冊
      2. 2.33 MB  |  次下載  |  免費
      3. 2MDD品牌三極管S9012數據手冊
      4. 2.62 MB  |  次下載  |  免費
      5. 3聯想flex2-14D/15D說明書
      6. 4.92 MB   |  次下載  |  免費
      7. 4收音環繞擴音機 AVR-1507手冊
      8. 2.50 MB   |  次下載  |  免費
      9. 524Pin Type-C連接器設計報告
      10. 1.06 MB   |  次下載  |  免費
      11. 6新一代網絡可視化（NPB 2.0）
      12. 3.40 MB  |  次下載  |  免費
      13. 7MS1000TA 超聲波測量模擬前端芯片技術手冊
      14. 0.60 MB   |  次下載  |  免費
      15. 8MS1022高精度時間測量(TDC)電路數據手冊
      16. 1.81 MB   |  次下載  |  免費

      本月

      1. 1愛華AIWA HS-J202維修手冊
      2. 3.34 MB   |  37次下載  |  免費
      3. 2PC5502負載均流控制電路數據手冊
      4. 1.63 MB   |  23次下載  |  免費
      5. 3NB-IoT芯片廠商的資料說明
      6. 0.31 MB   |  22次下載  |  1 積分
      7. 4H110主板CPU PWM芯片ISL95858HRZ-T核心供電電路圖資料
      8. 0.63 MB   |  6次下載  |  1 積分
      9. 5UWB653Pro USB口測距通信定位模塊規格書
      10. 838.47 KB  |  5次下載  |  免費
      11. 6技嘉H110主板IT8628E_BX IO電路圖資料
      12. 2.61 MB   |  4次下載  |  1 積分
      13. 7蘇泊爾DCL6907(即CHK-S007)單芯片電磁爐原理圖資料
      14. 0.04 MB   |  4次下載  |  1 積分
      15. 8100W準諧振反激式恒流電源電路圖資料
      16. 0.09 MB   |  2次下載  |  1 積分

      總榜

      1. 1matlab軟件下載入口
      2. 未知  |  935137次下載  |  10 積分
      3. 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關降壓/升壓雙向直流/直流轉換器 PCB layout 設計
      4. 1.48MB  |  420064次下載  |  10 積分
      5. 3Altium DXP2002下載入口
      6. 未知  |  233089次下載  |  10 積分
      7. 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
      8. 340992  |  191439次下載  |  10 積分
      9. 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
      10. 158M  |  183353次下載  |  10 積分
      11. 6labview8.5下載
      12. 未知  |  81602次下載  |  10 積分
      13. 7Keil工具MDK-Arm免費下載
      14. 0.02 MB  |  73822次下載  |  10 積分
      15. 8LabVIEW 8.6下載
      16. 未知  |  65991次下載  |  10 積分