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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>電力論文網>成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術的設計工藝研究

      成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術的設計工藝研究

      2010-06-24 | rar | 206 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      主要介紹了集成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術。IGCT器件的光刻次數多，精
      度要求高，如何保證光刻質量是關鍵。根據IGCT光刻的特點，從光刻機的性能、光刻膠的選用
      以及刻蝕工藝改進著手，進行了大量的研究工作，較好地保證了IGCT的光刻質量，使芯片梳條
      廢條率低于萬分之二，促成了IGCT器件的研制成功。
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