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在半導體制造圈，這幾年大家談論最多的莫過于“第三代半導體”——SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）。我們都在談論寬禁帶材料帶來的高耐壓、高頻性能。但對于身處Fab廠一線工藝或從事量測設備的工程師來說，材料屬性的變化，往往意味著新的工藝挑戰。
怎么測量碳化硅？晶圓應力怎么測？比如，SiC非常硬，莫氏硬度非常高；同時它又是透明的，且往往生長在異質襯底上。傳統的測量邏輯在這里經常行不通：
1.看不清：光學測量在透明多層膜結構上容易遇到復雜的干涉問題，數據往往存在噪點。
2.不敢碰：傳統的接觸式測量如果力度控制不好，很容易劃傷昂貴的光刻膠或晶圓表面。
?
當摩爾定律的戰場轉移到微觀結構的“縱深”和“新材料”上，我們的測量工具在如何升級？結合最近應用的NS系列臺階儀，我想聊聊在亞埃級尺度下，這種被戲稱為“微觀畫師”的設備，是如何解決新材料研發中三個關鍵難題的。
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