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      電子發燒友網>電子資料下載>電子教材>光學光刻中的離軸照明技術

      光學光刻中的離軸照明技術

      2010-11-11 | rar | 131 | 次下載 | 免費

      資料介紹

      提要：本文討論了光學光刻中的離軸照明技術。主要從改善光刻分辨率、增大焦深、提高空間像對比度等方面對離軸照
      明與傳統照明作了比較，并用 仿真軟件進行了模擬分析。研究表明，離軸照明是一種很有效的光刻分辨率增強技術
      光學光刻 離軸照明
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