資料介紹
沉銀分為以下三個步驟:預浸、沉銀和最后的去離子水洗。設立預浸的目的有三個,一是用作犧牲溶液,防止從微蝕槽帶進銅和其他物質污染沉銀液,二是為沉銀置換反應提供清潔的銅面,使銅面獲得與沉銀液中相同的化學環境和pH值。由于預浸的成分和沉銀液一樣(除了金屬銀外),此工序的第三個功能就是對沉銀槽的自動補充。在沉銀反應中唯一消耗的是金屬銀,沉銀液中有機組分含量的變化僅僅是由槽液帶出所造成的損失,而預浸和沉銀溶液有同樣的成分,預浸帶進的量等于沉銀帶出的量,因此沉銀液不會積聚不必要的有機物。沉銀反應是通過銅和銀離子之間的置換反應進行的。經過AlphaSTAR 微蝕溶液微粗化處理的銅表面,可以確保在受控的沉銀速度下能夠緩慢生成均勻一致的沉銀層。慢的沉銀速度有利于沉積出致密的晶體結構,避免了由于沉淀和結塊而產生的微粒增長,形成高密度的銀層。這種結構緊密,厚度適中(6 - 12u”)的銀層不僅具有高的抗蝕性能,同時也具有非常良好的導電性能。沉銀液非常穩定,有很長的使用周期,對光和微量鹵化物不敏感。AlphaSTAR的其他優點如:大大縮短了停工期,低離子污染以及設備成本低。
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