資料介紹
薄膜結構微壓阻式傳感器在提高靈敏度過程中容易引入非線性誤差,導致傳感器輸出性能變差。通過分析微壓阻式傳感器核心敏感元件結構,利用Ansvs軟件建立硅杯薄膜有限元分析模型,并通過彈性力學方法對有限元模擬的精確度進行驗證。針對薄膜結構傳感器非線性誤差隨靈敏度提升而急劇增加的問題,為了提高傳感器的線性性能,通過在敏感薄膜下方集成雙島結構,并分析優化島長和島寬等結構參數,得到了一種輸出線性度優良的雙島結構傳感器模型。模型輸出結果表明:雙島結構撓度線性度為0.8%,相比薄膜結構8.6%有了較大的改善,電壓輸出線性度為0.9%,能滿足使用要求,且實現了高靈敏度下線性輸出優良的傳感器模型設計。
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