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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>基于壓電偏轉鏡的激光掃描系統設計

      基于壓電偏轉鏡的激光掃描系統設計

      2015-08-21 | pdf | 2190KB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      相比其他諸如音圈和檢流計之類的驅動器，壓電陶瓷驅動的偏轉臺和掃描鏡具有更快的加速度和更高的帶寬，采用位移傳感器的閉環系統具有很高的定位精度。針對掃描范圍±1 mrad，分辨率幾個μrad的激光掃描系統技術要求，提出了以壓電陶瓷驅動的偏轉鏡為核心部件的掃描系統。該系統采用兩通道16位D/A，經過數模轉換后送功率放大器放大后控制擺鏡偏轉，系統采用了電阻應變片位移傳感器的閉環控制，提高了定位精度。
      壓電陶瓷 激光掃描 壓電偏轉鏡 壓電陶瓷驅動器
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