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      電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>微機電系統(MEMS)控制驅動討論

      微機電系統(MEMS)控制驅動討論

      2012-10-08 | pdf | 383 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (MEMS) is growing—they allow us todo jobs once considered impossible. This tutorial explains the applications for MEMS and the increasingneed to provide precision control and drivers for these devices. Design and manufacturing considerationsare also discussed.
      mems 微機電系統
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