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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>傳感與控制>微器件自動裝配系統(tǒng)的定標和操縱策略

      微器件自動裝配系統(tǒng)的定標和操縱策略

      2010-12-29 | rar | 659 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      摘　要:主要研究了自動微器件裝配系統(tǒng)的定標技術和操縱策略兩個問題.在加入了尺度因子優(yōu)化步驟之后,一種基于Tsai兩步法的自定標方法實現了亞微米級的定標精度,并且獲得了更加可信的定標角度參數.這種定標方法應用于微器件裝配系統(tǒng)中并可以實現高精度的微器件定位.除了精確定標之外,我們還應該選擇合適的工作環(huán)境來控制粘附力的大小來提高微器件操縱成功率,選擇合適的夾持和釋放方式來提高微器件操縱效率和釋放位置精度,選擇一種安全簡單的移動路徑來縮短移動時間.實驗表明,我們的自動微器件裝配系統(tǒng)可以在10s內完成一個器件的定位和移動操作,并實現數微米的釋放位置精度.

      關鍵詞:微器件裝配;顯微鏡定標;尺度因子;相對濕度;操縱策略;操縱效率

      微器件
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