據報道，日本TDK公司宣布在全球范圍內立即推出基于子公司Chirp Microsystems的CH-101 MEMS芯片的超聲波飛行時間（ToF）傳感器。此款ToF傳感器利用微型超聲換能器芯片發射超聲波脈沖，然后接收從位于傳感器視場中的目標返回的回波。通過計算超聲波飛行時間（ToF），傳感器可以確定某一物體相對于器件的位置，同事觸發編程行為。

日本TDK的MEMS超聲波技術利用3.5mm x 3.5mm封裝的自研ToF傳感器，在定制級低功耗混合信號CMOS ASIC上結合MEMS超聲換能器和節能數字信號處理器（DSP）。此款傳感器可以具有多種超聲波信號處理功能，從而為客戶提供了適合于廣泛用例場景的工業設計方案，其中包括測距、存在/接近感應、物體檢測/避障以及位置跟蹤。

CH-101是首款實現商用的基于MEMS的超聲波ToF傳感器，主要應用于消費電子、增強現實/虛擬現實（AR/VR）、機器人、無人機、物聯網（IoT）、汽車和工業市場領域。日本TDK的MEMS超聲波產品系列還包括專用于室內傳感應用的CH-201超聲波ToF傳感器，以及全套軟硬件系統解決方案Chirp SonicTrack?，可以實現AR/VR/MR系統由內到外的六自由度位姿（6-DoF）控制器跟蹤。

與光學ToF傳感器相比，日本TDK的MEMS超聲波ToF傳感器解決方案表現出許多優勢：

無論目標物體的尺寸或顏色，都可以實現精確測量；甚至可以精確地檢測透光的目標物體

抗環境噪音

能夠在所有照明條件下工作，不同于紅外傳感器不能在陽光直射下工作

確保眼睛安全，與基于激光的IR ToF傳感器有顯著區別，但寵物無法感知

最大180°視場，使單個傳感器可以支持整個房間場景感應

“CH-101傳感器是經過我們多年磨礪，在壓電MEMS技術和低功耗ASIC設計實現突破性創新后研發的成果，在微型封裝上實現了高性能、低功耗的超聲波傳感，”日本TDK集團子公司Chirp Microsystems首席執行官Michelle Kiang說，“產品設計人員首次可以用最新的超聲波ToF傳感器，提出可以實現新功能的方案，增強多種消費產品的用戶體驗。我們研發的基于CH-101的Chirp SonicTrack?應用于HTC新推出的Vive Focus Plus VR一體機系統，提供6 DoF控制器跟蹤功能，目前正在大規模生產，CH-101和CH-201傳感器均由業界領先的智能揚聲器、機器人吸塵器、個人電腦等產品的消費品牌操刀設計。我們預計更多客戶將在未來12月內基于這款MEMS超聲波產品推出多款新產品。”

CH-101現已實現大規模生產，Chirp CH-201目前正在向部分客戶供貨。日本TDK在2019年6月25-27日舉行的2019年美國國際傳感器及技術展覽會（Sensors Expo）上展示了Chirp CH-101和CH-201產品，以及它專為移動、可穿戴設備、AR/VR、汽車、物聯網和工業應用研發的綜合傳感器、電子元件和解決方案。