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ADI高校講座系列:MEMS(1)

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-08-21 06:06 ? 次閱讀
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微機電系統是集微傳感器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口通信等于一體的微型器件或系統。MEMS是一項革命性的新技術,廣泛應用于高新技術產業,是一項關系到國家的科技發展、經濟繁榮和國防安全的關鍵技術。

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