目前市面上最便宜的單片清洗設備是兩個腔體的50-60萬美金,而6-8個腔體的單片式清洗設備的價值大概300-400萬美金。槽式價格100-200萬美金市場價格。

近日，至純科技迎來了浙商證券、海富通基金、申萬宏源、光大證券等25家投資機構調研。至純科技表示，公司濕法槽式清洗設備已獲得6臺的量產訂單，客戶是中芯國際和萬國半導體，這次的六臺設備都是槽式設備，主要是適用于半導體廠商8寸線。9月下旬可交付2臺，樂觀估計今年四季度或明年一季度確認收入。

從清洗設備的配備量來看,目前以4萬片產能的產線為例，一般情況下,8寸線匹配50臺設備,12寸線國內匹配70臺設備左右,包括槽式和單片,國外有的廠商能夠達到120臺清洗設備水平。在一個Fab廠清洗機需要2個億美金。

隨著下游對良率要求高,會大量采用單片式,但是單片式清洗效率低,單片式清洗設備根據腔體數量不同,清洗效率也不同,一個腔體一次只能清洗一片。未來隨著良率越來越高,單片式需求會越來越大。我們公司通常根據客戶具體要求來提供清洗機。

目前市面上最便宜的單片清洗設備是兩個腔體的50-60萬美金,而6-8個腔體的單片式清洗設備的價值大概300-400萬美金。槽式價格100-200萬美金市場價格。

國外單片式清洗設備已經發展到12個、16個腔體了,腔體多對應的附屬設備的介質供應也多,需要滿足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。設備選擇還是更看重良率和技術更新。

濕法清洗設備種類很多,從種類和功能上國產設備目前實現的只有其中的10%,公司產線達產以后希望做30%以上的品類,未來我們希望濕法清洗機臺的國產化率可以達到85%,進口替代能夠大大增加國內廠商的競爭實力,避免國外廠商的價格壟斷。

清洗設備在晶圓制造過程中反復使用,每道工藝都要清洗,是必備工藝,也會有具體的細分,14nm是我們目前正在做的。公司的設計、制造實力是可以覆蓋較多種類,但是未來也是步步為營,不可能一蹴而就。我們非常看重客戶需求,未來會跟動客戶需求逐步擴張我們的產品線。

據悉，至純科技濕法事業部于去年底成立,目前有人員近40人,槽式清洗設備目前是在日本制造,將來會放在啟東,新廠樂觀估計十月份部分交付使用,明年下半年產能有望開始釋放,但達產仍需過程,最主要的制約因素是高端人才的培訓需要比較長的周期。公司在去年年報提出的目標是未來五年內實現清洗設備累積銷售200臺。目前第一期設計產能是年產48臺。未來濕法事業部的團隊規模有望達到300-400人。