2026年4月1日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”，證券代碼：688012）在臨港產業化基地成功舉辦2025年度業績說明會。中微公司董事長兼總經理尹志堯博士與公司管理團隊出席會議。本次會議受到了市場的廣泛關注，吸引了眾多機構投資人、證券分析師及媒體代表等嘉賓。會議通過上證路演、價值在線等平臺開放實時直播并與廣大投資者線上互動交流。

中微公司自2004年成立以來的20多年里，始終堅守開發高端半導體微觀加工設備的初心，2025年更是在“有機生長”上實現重大突破、在橫向拓展上向技術領先的高端設備平臺化集團公司大步邁進的關鍵一年。2025年，公司上下一心、攻堅克難，以技術創新為核、以精益營運為基、以戰略布局為綱，取得了公司成立以來最為豐碩的經營成果，在高質量發展的道路上邁出了堅實步伐。

業績說明會上，尹志堯博士及其他高管向廣大投資者分享了業績亮點及戰略布局。尹志堯博士談到，面對行業發展的新機遇與外部環境的新挑戰，中微公司始終站在先進制程工藝發展的最前沿，絕不抄襲和復制國外的標配設備，一直堅持“技術的創新”，“產品的差異化”和“知識產權保護”三項基本原則。作為行業領先的半導體設備企業，中微公司堅持有機生長和外延擴展相結合的策略。產品覆蓋度持續提升，正穩步邁入多樣化、平臺化和規模化的發展新階段。近年來，公司不斷提高開發新的設備產品的質量和速度，將新產品的開發從傳統的3到5年周期大幅縮短至2年以內。2025年，公司研發投入37.44億元，占年銷售的30.2%，遠高于科創板上市公司10%到15%的平均水平。產品開發的項目涵蓋六大類，超過二十款新設備。

2025年，公司延續了多年的高速增長態勢，經營業績再創歷史新高。在過去十三年公司營業收入年均增長保持高于35%的基礎上，2025年營業收入達到123.85億元，同比又增長約36.62%。公司的綜合營運管理水平持續精進，各項KPI指標進一步優化，全年保持100%的按時交付率，設備缺陷率低于國際領先廠商，綜合競爭優勢持續強化與提升。公司始終聚焦提高勞動生產率，在人均經營效率上不斷實現新突破，2025年公司人均年銷售已超450萬元，遠高于國內半導體設備公司平均水平，年銷售與勞動力成本的比值更是超過國際領先設備公司兩倍以上。

憑借強有力的研發團隊和深厚的客戶關系，公司開發出一個又一個成功的刻蝕設備和薄膜設備，快速進入市場，為集成電路和泛半導體微觀器件的客戶提供極具競爭力和高性價比的設備產品，并不斷提高市場占有率。截至2025年底，公司累計已有超過7800臺等離子和化學薄膜的反應臺，在國內外170多條生產線實現量產和大規模重復性銷售。

尹志堯博士針對投資者關心的問題分享到，2025年公司的薄膜設備銷售迎來爆發式增長，營收同比大幅增長約224.23%，成為公司業績增長的重要新引擎。公司以行業領先的研發速度，在短時間內成功開發出十幾種導體和介質薄膜核心設備，多款產品實現技術與市場的雙重突破。公司在量檢測設備，特別是電子束量檢測設備和濕法設備上全面布局，取得了可喜的進展。2025年公司發起對杭州眾硅的收購，得到了業界的廣泛認可，雙方將形成顯著的戰略協同，標志著中微向“集團化”和“平臺化”邁出關鍵的一步。通過“有機生長”和“外延擴展”，公司在五年左右時間將覆蓋60%以上的集成電路高端關鍵設備和70%以上的先進封裝設備，成為集成電路設備的平臺型公司。

尹志堯博士介紹，中微公司持續深耕泛半導體與新興設備領域，多年的布局與研發在2025年結出豐碩成果。先進封裝所需的TSV第三代刻蝕機即將實現市場突破。氮化鎵基MOCVD設備的行業領先地位持續穩固，同時開發出碳化硅和氮化鎵功率器件用MOCVD設備、Micro LED所需的藍綠光和紅黃光等四款新型MOCVD設備，并陸續推向市場，進一步豐富了MOCVD設備的產品體系，滿足泛半導體領域多樣化的市場需求。尤為值得一提的是，公司在大平板設備領域實現了從無到有的跨越式突破，僅用18個月時間，就成功開發出OLED 8.6代線大平板PECVD設備，達到客戶生產線 ±5% 薄膜厚度均勻性要求，并順利進入大生產線認證，成功填補了國內在該領域的技術空白，為我國新型顯示技術領域的設備自主可控貢獻了中微力量。

隨著廣州和成都研發及生產基地建設的相繼啟動，中微公司未來廠房總面積將達到85萬平方米，進一步增強產品研發與高端設備制造能力，全面深化在半導體及泛半導體產業鏈的戰略布局，持續鞏固其在全球高端半導體設備領域的領先地位。

未來，中微公司將繼續堅持“三維立體生長” 與 “有機生長和外延擴展”相結合的戰略，持續鞏固在集成電路關鍵設備領域的核心競爭力和優勢，不斷拓展泛半導體關鍵設備應用，并通過持續的技術升級和深度的產業鏈合作進行新興領域探索，通過“科創企業五個十大”的學習和傳承，使企業總能量、對外競爭的凈能量最大化，實現高速、穩定、健康、安全的高質量發展，為2035年在規模、產品競爭力和客戶滿意度上成為全球第一梯隊的半導體設備公司打下堅實的基礎。

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備(上海)股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細分刻蝕設備已可以覆蓋大多數刻蝕的應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國內和國際一線客戶，從65納米到3納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年著重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD，LPCVD，ALD，PVD，PECVD和EPI設備，并取得了可喜的進步。中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備早已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。此外，中微公司已全面布局光學和電子束量檢測設備，并開發多種泛半導體微觀加工設備，包括大平板顯示設備等。這些設備都是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。在近五年的全球半導體設備客戶滿意度調查中，中微公司總評分四次獲得第三，薄膜設備四次被評為第一。