在高頻下進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量，對(duì)于表征放大器、混頻器和差分線等有源和無(wú)源器件的特性至關(guān)重要。

由探針臺(tái)和R&S?ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀組成的測(cè)量裝置
您的任務(wù)
在 5G、6G 和毫米波器件的研發(fā)、驗(yàn)證與生產(chǎn)過(guò)程中，在晶圓上測(cè)量設(shè)備的電氣特性非常重要。這些測(cè)量是通信、國(guó)防和航天等前沿技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵支撐。
準(zhǔn)確表征放大器、混頻器和傳輸線，是確保其順利集成到模塊與產(chǎn)品中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。同時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)最大產(chǎn)能，需要精確快速地進(jìn)行晶圓上樣品測(cè)試。

與探針臺(tái)的機(jī)械集成
羅德與施瓦茨解決方案
為應(yīng)對(duì)高達(dá)110 GHz的晶圓上差分測(cè)量挑戰(zhàn)，R&S?ZNA67EXT矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）提供了一套完整的單次掃描解決方案。
測(cè)量裝置由 R&S?ZNA67 主機(jī)和外部變頻器組成，可實(shí)現(xiàn)最高 110 GHz 的精確且可重復(fù)的測(cè)量。
該裝置的一個(gè)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)在于其與 MPI Corporation 探針臺(tái)的機(jī)械集成。變頻器安裝在側(cè)面，有效縮短了與射頻探針之間的距離。通過(guò)減少電纜彎折和縮短信號(hào)傳輸路徑，該設(shè)計(jì)顯著增強(qiáng)了機(jī)械穩(wěn)定性與整體射頻性能。
測(cè)量裝置兼容虛擬差分與真實(shí)差分配置，為各種被測(cè)設(shè)備 (DUT) 場(chǎng)景提供高度靈活的解決方案。VNA 架構(gòu)包含多個(gè)相位相參信號(hào)源和并行測(cè)量接收機(jī)，實(shí)現(xiàn)全毫米波頻段的多端口和真實(shí)差分混合模式 S 參數(shù)高精度分析。

QAlibria? 晶圓級(jí)射頻校準(zhǔn)軟件
射頻探測(cè)的集成與穩(wěn)定性
測(cè)量裝置采用 MPI 高性能探針臺(tái)，支持手動(dòng)和自動(dòng)化配置，并可選配熱臺(tái)和振動(dòng)隔離功能，確保探測(cè)的穩(wěn)定性。該裝置的射頻接口采用 GSGSG 配置的 MPI TITAN? 毫米波雙探針，專為高達(dá) 120 GHz 的差分測(cè)量?jī)?yōu)化了設(shè)計(jì)。這些探針在毫米波頻段具有卓越的耐用性、回波和插入損耗性能以及端口隔離度，同時(shí)優(yōu)化了尖端的可視性設(shè)計(jì)，確保精準(zhǔn)接觸焊盤。
為了確保測(cè)量的可重復(fù)性和相位穩(wěn)定性，MPI 開發(fā)了專用的機(jī)械集成夾具，可以將頻率擴(kuò)展器穩(wěn)固地安裝在探針臺(tái)上。該夾具有效減少了電纜彎折與移動(dòng)，保持穩(wěn)定的電纜路徑，并縮短了射頻信號(hào)傳輸距離。由此可實(shí)現(xiàn)更高的指向性、更低的損耗，并在重復(fù)扎針后提供高度穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。MPI 獨(dú)有的射頻探針臂嵌入式機(jī)械傳輸結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)光密封測(cè)量，同時(shí)不影響探針定位精度。
校準(zhǔn)使用專為 GSGSG 配置設(shè)計(jì)的 MPI TCS 雙校準(zhǔn)片，與探針間距精確匹配。
MPI TCS 系列代表了新一代校準(zhǔn)片，集成晶圓級(jí)射頻校準(zhǔn)技術(shù)的最新成果與推薦方法。憑借獨(dú)特的對(duì)端端接標(biāo)準(zhǔn)件，可以在超過(guò) 110 GHz 的頻率下實(shí)現(xiàn)卓越的校準(zhǔn)精度。
MPI QAlibria? 和 SENTIO? 軟件提供全面支持，不僅可在探針前端實(shí)現(xiàn)快速、精確、可靠的全自動(dòng)校準(zhǔn)，還能使用晶圓上校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件和在寬溫度范圍下完成校準(zhǔn)。
總結(jié)
通過(guò)將尖端射頻性能、智能化機(jī)械集成和先進(jìn)的校準(zhǔn)工具相結(jié)合，測(cè)量裝置為復(fù)雜的毫米波測(cè)試簡(jiǎn)化了可靠高效的工作流程。
該裝置最大限度地降低了設(shè)置復(fù)雜度并提高了測(cè)量完整性，為高頻率和高精度應(yīng)用提供支持。
羅德與施瓦茨的R&S?ZNA67EXT與MPI公司的探針臺(tái)相結(jié)合，可為高達(dá)110 GHz的晶圓上差分測(cè)量提供穩(wěn)固精確的解決方案，滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試與表征的嚴(yán)格要求。

審核編輯 黃宇