第27屆ITES深圳工業展暨高端裝備產業集群展將于2026年3月31-4月3日在深圳國際會展中心啟幕。

展會同期將舉辦2026 “工業新智大會”，聚焦產品核心部件與先進工藝應用，重磅打造AI服務器、半導體設備、具身智能、航空航天、電子智造、新能源汽車、醫療器械7大系列，共計80余場高質量專題論壇。

話題從人形機器人、AI眼鏡到AI服務器液冷板加工、內腔流道檢測等，直擊產業痛點與技術前沿，是把握行業趨勢的頂級技術前瞻交流平臺。現場還匯聚了眾多產業領袖與高層專家，帶你領略戰略級人脈樞紐。

前方陣容大劇透！

半導體設備系列

然而，進軍半導體設備市場的精密制造從業者，仍困囿于“如何實現±2微米穩定加工？噴淋盤上萬個孔，一致性怎么保證？如何做到腔體納米級拋光+100%氣密性？”等工藝難題……

半導體設備系列論壇上，中信證券、東匯精密機電、模德寶、單色科技等大咖將聚焦泵與閥體交叉孔工藝、腔體拋光與氣密性檢測、噴淋盤微孔加工等先進工藝，就半導體設備零部件的國產化替代趨勢與案例等進行深度討論，給企業提供可直接落地的工藝優化。

演講重點話題

• 半導體設備核心零部件機械制造痛點和挑戰
• 半導體精密加工的數字化方案
• 超快激光在半導體設備精密部件中的應用
• 半導體設備核心零部件量測方案
• SiC基亞精密結構件陶瓷成形增材制造解決方案
• 自動化部件：把“納米級走位”做成國產標配
  ……
  特別推薦話題

▌半導體設備核心零部件機械制造痛點和挑戰

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鐘健

深圳市東匯精密機電有限公司

首席技術專家