阻抗分析儀E4991B是一款 1 MHz-3 GHz 的射頻阻抗材料測試儀,本文介紹儀器的操作流程。 我們將從設置測試參數，端面校準,夾具補償,樣品連接，測試結果讀取幾方面來介紹。
1. 設置測試參數
首先要了解被測件的測試參數，如頻率范圍，電平，偏置等，這些參數可以在儀器面板上的Stimulus 菜單中設置。其他的參數的設置也都是在顯示屏右側兩欄中按鍵進行。
如下圖所示：

1）阻抗分析儀 E4991B支持的掃描方式有以下幾種：
線性頻率掃描：Lin Freq頻率呈線性方式掃描
對數頻率掃描：Log Freq頻率呈對數方式掃描
分段掃描：Segment 可以設置不同的頻率范圍，作為不同的分段掃描
電平掃描：OSC Level 設置的激勵信號電平的掃描
偏置掃描：DC Bias 儀器需要訂購001偏置選件， 才有直流偏置掃描能力
對數偏置掃描：Log DC Bias 同上，一樣需要001選件，直流偏置呈對數方式掃描
以上的這幾種掃描掃描方式在測試中都有可能用到，Segment分段掃描可能不好理解，但是通過下面的介紹，就會了解得到這種掃描方式的靈活和強大之處。
Segment掃描，可以設置兩個或兩個以上的頻率范圍，每個頻率范圍都可以稱之為一個分段Segment（只有頻率分段，其他參數不能做分段），在每個分段中可以設置不同的掃描點數、OSC電平、DC Bias、測試時間、掃描延時、掃描時間.
下圖中是我設置了4個頻率分段掃描，在每個分段中，可以設置其他的測試參數，來完成不同的測試需要。比如想在哪個分段中設置不同的掃描點數，大的掃描點數可以提高測試的分辨率，小的掃描點數可以快速掃描。

2）參數的設置
在上述的分段掃描中，可以在掃描列表中直接設置對應的電平，偏置，時間等參數。如果是普通的頻率掃描模式， 參數如何設置呢？
頻率設置：在Stimulus的菜單鍵下，可以用Start，Stop來設置開始和截止頻率；或者用Center中心頻率以及頻率范圍Span表征都可以。
OSC Level激勵信號電平設置：進入Sweep Setup的菜單鍵中，顯示屏右側的軟按鍵列表中，第一個就是OSC level，點擊這個軟按鍵后，進入到電平設置菜單。默認是Voltage Level電壓值，在這個界面中，只要更改OSC Unit為Power或Current ，激勵信號電平就可以設置為功率dBm和電流mA。
DC Bias直流偏置的設置：訂購了選件001之后，進入Sweep Setup菜單之后，軟按鍵列表中DC Bias State狀態可以設置為On，DC Bias才可以設置。沒有001選件， DC Bias和DC Bias State皆為灰色顯示，不能做任何設置。
以上的參數，頻率范圍，OSC level ，DC Bias設置為多少，都是根據被測件的要求來設置，才好驗證被測件的工作性能。
二，端口校準
先進入面板中的按鍵Cal ，選擇“Accessory”，選擇使用的夾具型號，如16192A.然后在儀器的顯示屏的軟面板上選擇Calibration，再選擇Execute Cal，對E4991B 自帶的 Test Head 端口做校準。校準件用儀器自帶的16195B校準套件，分別和端口連接上Open，Short，Load校準件，點擊open做開路校準，校準完成后會在open按鍵上打勾，其他的校準類似。三項校準完成，在Low Loss Capacitor下方的灰色的Done按鍵自動變成亮色的顯示，并且按下Done。至此，Test Head 端口校準完成。
一般測試時，低損耗的電容可以不同做校準。而在一些高頻范圍對低損耗器件測試時，可以做電容的校準，以保證更好的測試結果。

校準完成后的顯示如下：

接著上一個步驟中，按下Done之后，選擇Return返回到上一級菜單，菜單中第一個的軟按鍵“Correction”自動切換“ON”。再按軟按鍵return 返回之前的Cal 界面。也可以直接按面板上的按鍵Cal，重新進入校準界面。
然后選擇夾具補償Fixture Compen,進入夾具補償界面。 一般來說，客戶購買了是徳科技的夾具，夾具的補償可以只做Open和Short補償即可。

Open 補償，即讓夾具的兩個測試電極或觸點呈開路狀態，再選中亮色的 Open 軟按鍵，接著儀器會響一聲，進行開路補償，然后最上方灰色的 Open 狀態會從 OFF 切換為 ON。
Short 補償，讓夾具的兩個測試電極或觸點用短路片或短路線連接，使得夾具電極呈短路連接，再點擊亮色的軟按鍵 Short，軟面板上的灰色 Short 的狀態也會從 OFF 切換為 ON。
做完以上的操作之后， 夾具補償完成，接著就可以對被測件做測試了。
三，對樣品測試
樣品連接上夾具，點擊面板上的按鍵 Meas，進行測試功能的選擇，儀器默認是Z-Theta即阻抗和損耗角的測試，如果要測試電容或其他參數，點擊下圖中Trace 1&2，可以選擇其他測試功能。

如下圖，顯示為 R-X 的測試曲線，有時候在屏幕中看不到測試曲線，這時可能是測試曲線超出了顯示屏當前的顯示范圍。這時點擊面板上的按鍵 Scale，再選擇 Auto Scale ALL，可以對所有的顯示曲線做自動定標的調整，使得測試曲線的很好地顯示出來，這個功能比較好用。

如果您不想自動定標，那么就自行設置。如對 Scale/Div，Reference Position，Reference Value 等參數來調節，相對麻煩一些。
四，數據的保存
點擊面上的按鍵 Save/Recall，進入數據的保存菜單。從幾個常用的功能來介紹：
Save State：保存儀器的狀態信息
Recall state：調用儀器的狀態信息，就不用重新設置了。
Save Type：保存狀態，狀態以及校準數據，或狀態和曲線，或all所有。
Save Trace Data：保存數據信息，文件為CSV格式，可以直接在excel中查看數據，做后期的數據分析。
綜上就是阻抗分析儀的操作流程，相信通過以上的內容可以幫助您快速地使用儀器。儀器還有更多豐富的功能，等著你們去探索和發現。

審核編輯 黃宇