提起源表 SMU，多數人腦海里浮現的都是實驗室里精密的測試場景：半導體器件的 I-V 特性測量、絕緣材料的高阻檢測、鋰電池的充放電監測…… 它是集四象限電壓源、電流源、電壓表、電流表于一體的硬核測試工具，憑借超高的測量分辨率和多功能集成優勢，成為電子、半導體等領域工程師的 “標配武器”。
但你能想到嗎？這臺專司精密測試的儀器，還能解鎖 “電子畫筆” 的隱藏身份，用定制化的特殊波形，畫出軟萌可愛的小兔子。當精準的電信號遇上天馬行空的創意，硬核技術與治愈萌物的碰撞，會擦出怎樣的火花？一起看下去吧！

一

基本參數測試及測試設備

參數測試的主要測量資源是源表SMU。源表SMU能同時提供和測量電壓或電流。

下圖顯示簡化的源表SMU等效電路:

由于源表SMU 必須測量非常低的電流 (1fA 或更低)，它們總是使用三軸輸出。

二

源表類型

有多種不同類型的源表SMU。

最常見的源表是中功率源表SMU (MPSMU); 顧名思義這種 SMU 能提供中等大小的電壓和電流 (±100 V和 ±100 mA)和低至10 fA 的電流測量分辨率。

高分辨率源表SMU (HRSMU) 適用于精密測量，它有與 MPSMU 相同的電壓和電流能力，但電流測量分辨率可達到 1fA，甚至更低，電壓測量分辨率則能達到 0.5 μV。

高功率源表SMU (HPSMU) 適用于要求超過MPSMU 或 HRSMU 可供電流或電壓的應用; 這種 SMU 能提供達 ±1A 的電流和±200 V 的電壓，并有與 MPSMU 相似的測量分辨率。

三

利用源表輸出復雜特定波形

源表能產生任意波形和圖形

通常源表（SMU）采用的都是直流電源，如絕緣材料高阻、電容器的絕緣電阻的測量，施加的實際恒定的直流電壓下，進行電流的測量,而微弱信號，小電阻測量時，通常施加恒定的直流電流，進行電壓測量。

然而，很多被測件DUT的測量需要施加特定的激勵波形、如二極管的IV特性測量，需要在指定的電壓或電流范圍內，逐點改變電壓 V 或電流 I 的值，并測量出對應的I或V,畫出曲線；在測量VSCEL、MOSFET等激勵電流較大器件時，為避免器件特性變化甚至熔斷，也通常會采用脈沖替代直流激勵等； 鋰電池的交流內阻 ACR測量，需要給電池注入特定頻率和幅度的電流正弦波。

四

源表（SMU）三種產生激勵波形的方法

1）脈沖，線性掃描

此功能可以通過儀器前面板（B2900，PZ2100A系列）直接設置，也可以通過軟件編輯輸出

2)簡單的內置波形

一些簡單的波形，可以通過軟件內置的波形模板，設置幾個關鍵參數即可得到

3）List模式

通過list模式支持逐點編輯信號波形，也支持通過其他儀器獲取的波形文件（csv）復制導入

設置路徑：Sweep->List->Copied data

QuickIV的圖形化顯示界面可以直觀清晰的對測量結果以波形形式顯示，而且通過設置坐標軸的參考值，我們可以看到不同的信號，不同的通道之間的關聯性。

五

源表畫只小兔子

那多個通道去進行波形編輯，會產生什么意想不到的波形呢？讓我們畫只小兔子吧

步驟一：以兩個通道的數值來作為坐標點，利用List模式分別對兩個通道進行描點，并修改圖形化界面坐標軸參數為CH1=X，CH2=Y

步驟二：通過修改圖形設置參數以及調整坐標軸刻度，我們還可以改變兔子的顏色以及“身材管理”

小兔子畫好啦，不知道各位工程師還喜歡嗎？

敲黑板劃重點

利用源表輸出復雜特定波形有以下幾種方式：

脈沖，線性掃描波形

簡單內置波形（sine,log seep等）

List模式