經(jīng)世智能半導(dǎo)體行業(yè)晶圓盒轉(zhuǎn)運復(fù)合機(jī)器人，復(fù)合機(jī)器人在半導(dǎo)體行業(yè)主要應(yīng)用于晶圓盒轉(zhuǎn)運、機(jī)臺上下料等環(huán)節(jié)，通過“AGV移動底盤+協(xié)作機(jī)械臂+視覺系統(tǒng)"一體化控制方案實現(xiàn)高效自動化作業(yè)。
機(jī)器人機(jī)械臂末端定制了末端夾具，車身定制了物料緩存架。

應(yīng)用場景

1、晶圓盒轉(zhuǎn)運：復(fù)合機(jī)器人在潔凈車間自主移動，精準(zhǔn)對接EFEM、Stocker等設(shè)備，跨區(qū)域轉(zhuǎn)運晶圓盒，避免人工污染
2、機(jī)臺上下料：機(jī)械臂精準(zhǔn)定位完成晶圓盒與工藝機(jī)臺（如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)）的自動上下料，支持多品牌設(shè)備協(xié)議兼容

核心價值

1、24H作業(yè)，轉(zhuǎn)運效率提升50%，機(jī)臺稼動率提升20%
2、IOT實現(xiàn)物料追溯與設(shè)備監(jiān)控，實現(xiàn)數(shù)字化生產(chǎn)
3、潔凈環(huán)境與精密操作減少微粒污染及物理損傷
4、動態(tài)路徑規(guī)劃與模塊化設(shè)計，適配產(chǎn)線及晶圓尺寸變更

場景案例