一、設備概述

6517B型靜電計是吉時利（Keithley）推出的高精度靜電測量儀器，專為低電流（1fA-20mA）和高電阻（1Ω-101?Ω）測量設計。其核心功能包括：

超低電流測量：分辨率達1fA，適用于半導體、光電材料等微弱信號檢測。

高阻測量：輸入阻抗高達200TΩ，可精準測量絕緣材料電阻。

電荷測量：支持庫侖模式，用于電容器件或靜電放電分析。

電壓源輸出：內置±1kV高壓源，兼容浮地測量場景。

?二、操作前準備

安全接地與接線

接地檢查：確保儀器外殼通過保護性接地端子可靠接地。

屏蔽連接：使用三同軸電纜（Triax）連接輸入端口，減少外部噪聲干擾。

浮地測量配置：若需隔離測量，通過FLOAT功能鍵啟用浮地模式，配合隔離變壓器使用。

開機自檢

長按前面板POWER鍵3秒，儀器啟動自檢程序，屏幕顯示版本信息及校準日期。

自檢通過后，主界面顯示當前測量模式（默認電流模式）。

量程與模式選擇

量程設置：通過旋轉開關或RANGE鍵選擇量程（如1fA、10fA、100fA至20mA）。

模式切換：按FUNCTION鍵循環切換電流（I）、電壓（V）、電阻（R）、電荷（Q）模式。

三、基礎測量操作

電流測量（I模式）

接線：將三同軸電纜中心導體接被測電路，外層屏蔽接地。

調零：短接輸入端，按ZERO鍵消除本底電流（建議每次測量前執行）。

啟動測量：按TRIGGER鍵或通過外部觸發信號啟動測量。

數據讀取：屏幕顯示實時電流值（如-1.234E-12 A），按HOLD鍵凍結數據。

電阻測量（R模式）

電壓源配置：在電阻模式下，按SOURCE鍵設置測試電壓（如10V、100V至1kV）。

接線：高壓端接被測電阻，低壓端接地（或浮地）。

測量：按TRIGGER鍵，儀器自動計算電阻值（R=V/I）。

注意事項：高阻測量時避免人體接觸測試線，防止漏電干擾。

電荷測量（Q模式）

電容連接：將待測電容連接至輸入端，按SOURCE鍵設置積分時間（1ms-100ms）。

積分測量：按TRIGGER鍵啟動電荷積分，屏幕顯示總電荷量（Q=∫I dt）。

四、高級功能應用

自動掃描與數據記錄

電壓掃描：通過SWEEP功能設置電壓源起始值、終止值及步長（如0V→1000V，步長10V）。

數據記錄：連接計算機，使用KickStart軟件自動采集I-V曲線數據，支持實時繪圖與導出（CSV/TXT格式）。

噪聲抑制與濾波

帶寬限制：按FILTER鍵選擇低通濾波器截止頻率（如1Hz、10Hz），降低高頻噪聲。

平均模式：啟用AVERAGE功能，設置平均次數（如10次），提高信噪比。

浮地測量配置

高壓隔離：在FLOAT模式下，輸入端與地電位隔離，支持±1kV偏置電壓。

安全屏蔽：使用絕緣支架固定測試線，避免高壓電弧風險。

五、維護與校準

日常維護

清潔：使用異丙醇擦拭輸入端口，避免使用腐蝕性溶劑。

連接檢查：定期檢查三同軸電纜磨損情況，更換老化線纜。

校準流程

自校準：按CALIBRATE鍵啟動自校準程序（需連接標準電阻/電容）。

外部校準：聯系吉時利授權服務中心進行年度校準，確保測量精度。

六、故障排除

無顯示

檢查電源線連接，確認保險絲完好（位于儀器背面）。

重啟儀器，長按POWER鍵10秒強制復位。

數據波動大

檢查屏蔽接地，遠離電磁干擾源（如變頻器、電機）。

啟用FILTER功能或縮短測試線長度。

超量程提示

切換至更高量程（如10mA→20mA）。

檢查被測電路是否存在短路或漏電。

七、安全規范

高壓操作：佩戴絕緣手套，禁止觸摸高壓端子。

靜電防護：在低電流測量時，使用防靜電手環及導電桌墊。

廢棄處理：報廢儀器需聯系專業機構回收，避免環境污染。

八、文檔下載與技術支持

如需詳細電子版手冊可訪問安泰測試科技官網下載https://www.agitekservice.com/或者聯系客服領取，如需技術支持也可聯系我們，安泰測試科技提供吉時利的免費技術支持18682985902（同wx）。

審核編輯 黃宇