近日，相關團隊研發出了一種基于鋯鈦酸鉛（PZT）薄膜的超小型電光調制器。該調制器憑借PZT材料的優異性能，實現了高調諧效率和高速率，為片間信息傳遞提供了新思路。相關成果已發表于《ACS Photonics》。

DOI:https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsphotonics.4c02113 電光調制器在光互聯起著關鍵作用，尤其在AI快速發展的背景下，光互聯成為提升片間信息傳輸速率的理想解決方案。然而，傳統材料電光系數小，限制了小型化調制器的性能?！熬酆想姽猓ê贾荩┛萍加邢薰尽毖邪l的商用化PZT薄膜材料，憑借其高電光系數（150-200 pm/V）、低損耗和寬光譜范圍（600 nm-中紅外）在光電子領域具有巨大應用潛力。

相關團隊在商用PZT薄膜平臺上設計并制備了一種納米梁電光調制器（圖-1）。得益于PZT薄膜的高電光系數和納米梁諧振腔的緊湊結構，調制器尺寸僅為幾十微米。通過調節諧振峰的Q值以減小光子壽命，進一步提升了調制帶寬。 (a)

(b)

圖-1基于PZT薄膜晶體的納米梁電光調制器（a）結構實體圖，（b）制備得到的器件實物圖 調制器的電致調制效率高達到21.2 pm/V，同時在施加3V偏壓的條件下，經過60分鐘測試，功率變化小于0.5 dB，展現出優異的偏壓穩定性。器件在不同detuning波長下展現出不同的帶寬特性。在detuning波長為1.4 nm時，該器件的3 dB帶寬超過100 GHz，顯示了其卓越的帶寬性能（圖-2（a））。此外，通過任意波形發生器（AWG）和示波器對器件進行數字信號傳輸測試，演示了80 Gbit/s高速數據傳輸，證明了其在高速通信中的強大能力 （圖-2（b））。

圖-2 （a）3 dB帶寬測試結果；（b）眼圖測試結果 總結與展望

本研究在PZT薄膜晶體材料平臺上成功實現了一款小型化、高調諧效率、高帶寬和高速率的高度集成化調制器。該成果展示了PZT晶體薄膜在集成光學領域的巨大潛力，為應對AI等領域日益增長的片間數據傳輸需求提供了解決方案。展望未來，隨著PZT晶體薄膜平臺研究的深入，薄膜PZT有望在光電子領域獲得更廣泛應用，推動相關產業和研究的發展，并為未來3.2 T網絡等技術的發展提供技術支撐。