在剛剛結束的2024 第九屆 “創客中國” 中小企業創新創業大賽中，青島芯笙微納電子科技有限公司（以下簡稱：青島芯笙公司）做為青島唯一、山東唯二的企業，從全國3.5萬個大賽參賽入庫項目、5009個專精特新企業、785個專精特新“小巨人”企業中脫穎而出，入圍前50強，并榮獲三等獎。

一、創客中國，榮耀綻放

“創客中國”中小企業創新創業大賽是工業和信息化部與財政部聯合主辦的大賽。旨在圍繞產業鏈，部署創新鏈，配置資金鏈，已成為全國具有廣泛影響力的大型賽事之一。歷年來，諸多優秀企業和創新團隊通過“創客中國”創新創業大賽展現實力，從而得到了能力提升、社會認可和政策支持，實現了快速的成長和發展。

在第九屆 “創客中國” 中小企業創新創業大賽中，青島芯笙公司在青島市決賽中獲得一等獎，在全國總決賽中斬獲三等獎。其參賽項目“半導體核心零部件：氣體流量測控技術與產業化”，以自主開發為基礎，研制高端氣體質量流量控制器（MFC）產品，滿足半導體制造過程對高精度、高穩定性、高可靠性以及快速響應的嚴格要求，保證半導體工藝過程準確性和產品一致性。該產品為國內首款基于全國產品技術的高端MFC，其國產化對于打破半導體裝備核心零部件的關鍵技術壁壘，對促進我國半導體產業發展具有重大意義。

此次獲獎，充分展示了青島芯笙公司卓越的研發實力和創新能力，也彰顯了基于自主知識產權的國產 MFC在行業的引領地位和產業的認可。

二、筑牢根基，持續創新

青島芯笙公司，孵化自山東大學，是一家致力于高端氣體流量測控技術的國家高新科技企業，目標成為全球領先的半導體零部件供應商。其核心團隊來自新加坡科技局、德國 KIT理工學院、中國科學院、清華大學、同濟大學、山東大學等國內外重點科研機構，掌握核心流量傳感芯片、模組、算法、系統集成等全鏈條自主核心技術。

自2020年成立以來，青島芯笙公司針對半導體、實驗室、泛半導體、分析儀行業分別推出極具性價比的S700、S500、S300、UT等系列產品，解決國家在關鍵零部件領域卡脖子技術問題，在諸多領域實現了國產化替代。經過多年發展，公司已形成完備的研發和制造能力，同時建研發車間 800 平米，制造車間 4000 平米，以及 100 余臺流量校準設備，累計投入超過8000萬元。公司具有 ISO9001、ISO14001 等品質管理和制造認證，能夠確保產品的品質和制造的規范化。

目前，青島芯笙公司自主申請專利 30余項，國家一級計量證書 50 余項。在國家技術攻關領域，公司承擔了科技部重點研發計劃 項目3項、山東省重大科技創新工程項目1 項、青島市關鍵技術攻關項目1項。此外，公司建有 “青島芯笙 - 山東大學傳感器測控聯合實驗室”、“青島市氣體流量測控技術重點實驗室”、“專家工作站” 等多個研發平臺。這些成果和平臺為公司的技術創新和產品研發提供了有力保障。

三、全新產品，對標國際一流

近日，青島芯笙公司在氣體質量流量控制器方面取得重大突破，攻克了長期以來阻礙國產半導體級MFC發展的關鍵技術壁壘，成功開發出基于高速壓電比例閥的半導體級 MFC 產品。這一突破對于我國半導體產業發展至關重要，目前國內主流的MFC產品采用傳統的電磁比例閥技術，性能參數差，產品力不足，無法滿足半導體行業高精度、高可靠性、快速響應的需求。而日本Horiba、美國MKS、荷蘭Bronkhorst等業內龍頭企業已然推出基于壓電比例閥的半導體級MFC產品。相較而言，壓電比例閥響應快，控制精度高，能夠實現氣體流量的快速調整，滿足半導體制造過程對快速響應的要求。同時，壓電比例閥功耗和熱噪聲低，減少了能源消耗和對環境的影響。

為滿足不同應用需求，青島芯笙公司為新產品匹配了兩種版本：DF500和S700。其中，DF500采用層流差壓技術方案，在控制范圍和小流量精度更有優勢；S700采用毛細管熱式技術方案，具有更寬的量程選擇和工作溫度。兩種版本均采用了國際領先的高速壓電比例閥和SEMI標準材質，并配備了壓力不敏感（PI）技術和公司最新研發的自適應動態控制算法，可在全量程流量范圍內實現高精度快速控制，完美適配 7nm、14nm 及以上工藝節點的 Etch、ALD、CVD 等半導體工藝設備。

四、任重道遠，揚帆破浪

在半導體級MFC這個賽道上，我國研究起步較晚，技術和產品受制于西方國家，嚴重威脅著我國半導體產業的鏈條完整性和安全性。目前，青島芯笙公司在避開國外專利的情況下，實現技術突破，已經完成了從0到1的難題，接下來是如何更好地實現從1到100的躍升。

“創客中國” 創新創業大賽的殊榮是對青島芯笙公司前期成果的肯定，也象征著國內技術水平的提升。然而，“任重道遠須策馬，風正潮平好揚帆”，未來，青島芯笙公司將繼續發揮自身優勢，提高自身在全球高科技領域中的競爭力，為中國半導體行業的健康發展貢獻一份力量。

審核編輯 黃宇