導讀

為新能源鋰電行業賦能第四站：半導體制造中的高功率紫外光源！穩定輸出、靈活控制的曝光設備是新能源/半導體行業高端生產中減少誤差、提高效率的核心技術，友思特 ALE 系列 UV LED 紫外光源集合6大優勢，為精密制造的健康發展提供了全新的選擇。

應用背景：新能源與半導體行業的光刻曝光需求

紫外光刻和曝光是新能源和半導體行業生產各種高端芯片、微觀電路結構的核心技術。在紫外光刻過程中，光源發射的紫外線通過掩模上的微小透鏡或光柵投射到光刻膠層上，形成所需的微小圖案，如圖1所示。

圖1. 紫外光刻曝光示意圖

長期以來，半導體制造領域通常使用傳統的大功率汞燈技術作為光刻設備中的紫外光源。這種汞燈光源雖然輸出功率高，但輸出光譜范圍過寬，制造和生產過程中會產生對環境有害的物質，并且工作壽命較短、更換周期頻繁。

相比之下，UV LED 具有獨特的技術優勢和成本優勢，它能夠輸出穩定且超高功率的紫外輻射，還能保證長時間運作和長工作壽命，為半導體的制造提供了一種理想的解決方案。

圖2. UVLED光譜

基于 UV LED 獨特優勢的廣泛傳播，越來越多的研究實驗使用 UV LED 光源代替傳統的汞燈燈箱。然而，設備的更新換代并不是簡單的“鑰匙開門”過程，還需要考慮更換成本、設備體積和設備兼容性，更關鍵的是必須保證光刻曝光的效果穩定。

友思特ALE：用于改造光刻設備的優異性

友思特高功率 UV LED 紫外光源 ALE 1 可以與準直泛光曝光光學器件相結合，不僅是將傳統掩模對準器燈箱升級到 UV LED 技術的多功能和靈活的選擇，也是一種經濟實惠的解決方案，對學術領域小型研究實驗室和工業領域的技術開發具有很強的吸引力。

1. 高能量效率

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統的汞燈耗費更少的能源。從長遠來看，這不僅有助于降低能源支出，而且使 UV LED 成為減少碳足跡的實驗環境的更環保的選擇。

2.長使用壽命

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統汞燈具有更長的使用壽命，這意味著它們需要更少的更換和維護頻率，從而為實驗室節省資源成本、提高使用效率。

3.穩定的輸出

友思特 ALE 1 紫外光源可隨著時間的推移提供一致的紫外線輸出，無需調整燈泡強度或頻繁更換燈泡。這確保了實驗中更高的一致性和準確性，減少了由于不均勻照明而導致的錯誤風險。

4.靈活的傳輸控制

友思特 ALE 1 紫外光源能夠完美地集成到現代實驗室設置中。完全可調的輸出光譜和最先進的控制接口為高級曝光開辟了可能性，同時易于收集數據和分析結果。

5.減少熱量

友思特 ALE 1 紫外光源比傳統汞燈散發的熱量更少，在對溫度變化敏感的實驗中，這一優勢將發揮很大的作用，避免產生誤差。

6.更安全的使用環境

友思特 ALE 1 紫外光源是比傳統汞燈更安全的選擇，因為它們不含汞這種有毒物質，減少了對人體健康和環境的危害，在傳統燈具中使用汞會帶來潛在的暴露風險。

利用 UV LED 進行光刻設備的升級

標準或定制的高透射率液體 LED 光導用于連接光源和曝光設備，可以自由選擇最適合的連接方式，將光源和曝光光學器件放置在任何位置。友思特支持有關紫外曝光集成的各種解決方案的定制設計，用于完美貼合原有設備及實驗需求。

圖3. 大面積聚光元件集成方式 圖4. 透鏡組集成方式

作為曝光光源的 ALE 1 紫外光源為實驗室研究和工廠技術開發提供了許多好處。它們不僅更節能、使用壽命更長，還提供一致的紫外線輸出，散發更少的熱量，對研究人員來說更安全。

憑借與數字技術集成的能力，經濟實惠的 ALE 1 紫外光源正成為與新能源/半導體行業最新技術同步發展進步的首選。

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審核編輯 黃宇