為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度，通過干涉技術(shù)，可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲，它可實現(xiàn)優(yōu)于 0.01 nm 的系統(tǒng)噪聲。

干涉工作原理

干涉技術(shù)的工作原理是：將光分成光學(xué)傳播路徑不同的兩個光束，然后再合并，從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作；焦點對準(zhǔn)后，可在樣本上觀察到條紋。

CSI （白光干涉）使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，任何放大倍率下均達(dá)到 1 nm 的高度分辨率。

采用干涉法，3D 測量能以高精度進(jìn)行。可沿 Z 軸掃描，在整個樣本上獲得條紋，用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像。

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審核編輯 黃宇