硅碳負極生產工藝流程如下：

（1）氣相沉積

多孔碳材料粉末經人工投料入加料倉，加料倉經正壓輸送粉末加入氣相沉積爐中，置換空氣，通入硅烷/氮氣混合氣體，在高溫（400-550℃）作用下，氣體熱解將硅沉積在碳材料上，一段時間（4h）后停止充入硅烷。再將溫度升至 550-700℃，充入乙炔/氮氣混合氣體，氣體熱解將碳沉積在硅/碳材料上，持續時間 4h 。該過程涉及的反應：

SiH 4 =Si↓+2H 2 ，C 2 H 2 =2C↓+H 2

氣相沉積過程主要工藝廢氣 G2 含有氫氣、未發生反應的硅烷、乙炔，以及氣流帶出的顆粒物 G1，尾氣先通入進行熱氧化+水噴淋處理，再通入焚燒爐進一步燃燒。

（2）篩分除磁

反應結束后的負極材料人工轉移倒入篩分機內進行篩分，篩上物直接作為固廢，再將篩下物進入除磁設備中，除磁設備將物料中的磁性顆粒去除，去除的磁性物質直接作為固廢，剩余的物料為產品。此工序主要污染物為顆粒物 G1-2、S1 廢磁力材料。

（3）包裝

篩分除磁后打開出料閥門，隨后人工將負極材料輸送到自動化的真空包裝機內包裝，負極材料會在密閉的包裝機內完成裝袋并封口，全過程密閉，產生逸散粉塵 G1-3經布袋除塵器收集處理后無組織排放，包裝后的產品儲存至倉庫外售。

物料平衡

硅碳負極生多孔碳使用量為 19t/a，硅烷使用量為 21t/a，反應轉化率達到 91%；乙炔使用量為 6300 m 3 ，密度為 0.62kg/m 3 ，折算質量為 3.906t/a，反應轉化率達到 15%。

硅碳負極反應方程式

硅碳負極生產工藝流程圖

硅碳負極主要生產設備

硅碳負極主要原輔料