據麥姆斯咨詢報道，Menlo Micro近期在德國舉行的電力電子系統及元器件展覽會(PCIM)上展示了其MEMS功率開關MM9200在斷路器中的應用演示(demo)。

MM9200是Menlo Micro于2022年推出的一款基于玻璃襯底構建的高功率單刀單擲開關(SPST)MEMS開關，封裝為QFN或WL-CSP兩種可選。Menlo Micro創新的Ideal Switch技術可實現高度可靠的MEMS開關，能夠以小尺寸承載高電壓和高電流。

MEMS功率開關MM9200特點、應用及市場

MM9200提供超低導通電阻、低漏電流和高壓關斷，開關周期超過10億次。由于其具有壽命長、電流消耗極低和外形小巧等特點，MM9200是替代機電繼電器以及IGBT和MOSFET等固態開關的理想解決方案。與MOSFET固態開關不同，MM9200與機電繼電器一樣支持觸點之間的雙向電流。多個MM9200開關可以串聯或并聯連接，以分別提高額定電壓或額定電流。

Menlo Micro功率MEMS開關產品副總裁Chris Umminger表示：“MM9200定位于機電繼電器和固態MOSFET開關之間，在壽命方面不如固態開關，但優于機電繼電器，另外MM9200在6mm x 6.5mm QFN封裝尺寸中具有10mΩ的低導通電阻，這與固態開關相比，更具優勢。”

在PCIM展會上，Menlo Micro演示了MM9200與SiC MOSFET開關的對比情況，該演示使用相同的電路板尺寸來突出在240V交流(AC)應用中MM9200 MEMS開關相比SiC MOSFET開關的優勢。

Menlo Micro在兩塊電路板上進行了溫度和導通電阻測量(電流為40A時)。40mm x 50mm面積的電路板上可以容納24個MM9200 MEMS開關，而相同尺寸的SiC MOSFET開關只能容納8個。

Chris Umminger說道：“MM9200開關配置為12并聯-2串聯，擊穿電壓為600V。采用MEMS開關的電路板的運行電流高達60A，但測量結果顯示無法維持采用SiC MOSFET開關的電路板的工作電流超過52A。”

Chris Umminger繼續說：“MEMS開關建立在采用晶圓光刻等半導體工藝之上，因此制造工藝是可擴展的，適合大批量生產。我們的首席技術官對如何向前發展有一些想法，而且基本原理有利于降低成本。目前存在的挑戰之一是斷路器有多種尺寸和額定值，因此這項技術可以用于開關陣列中，MM9200可能更適合更高功率的應用，并且導通電阻優勢非常突出。”

Menlo Micro目前正在向包括歐洲在內的多家客戶提供MM9200樣品。