準分子 PLD 制備的優質薄膜提升了太陽能電池的效率。“相干公司準分子激光器的高脈沖間穩定性是實現大面積均勻脈沖激光沉積的關鍵特性。”— 助理教授 Monica Morales-Masis，荷蘭特文特大學

挑戰

太陽能電池和其他光電器件均可受益于具有器件兼容沉積方法的功能薄膜材料開發。 在幾種類型的太陽能電池中，一項主要挑戰是，將透明導電電極沉積在器件的敏感層上，例如金屬鹵化物鈣鈦礦太陽能電池中的有機接觸層。 通常可通過使用無機緩沖層來克服這個問題。 特文特大學 Monica Morales-Masis 領導的一個研究小組已經研究了脈沖激光沉積 (PLD) 是否能為無緩沖的半透明鈣鈦礦太陽能電池制造高質量透明電極。 (除了低損傷沉積外，晶片型 PLD 也是太陽能電池應用的一個要求。) 幸運的是，相干公司的 248 納米 KrF 準分子激光器為可重復、可擴展的 PLD 提供了理想的解決方案。

解決方案

該小組利用 248 納米高脈沖能量準分子激光器在 4 英寸晶片上進行 PLD，成功地展示了在金屬鹵化物鈣鈦礦太陽能電池上重復沉積透明導電氧化物 (TCO) 薄膜。 Morales-Masis 解釋道，“PLD 已經是一項成熟的技術，例如用于復雜的壓電材料。 我們當前正探索太陽能電池材料的技術，對于這種材料，可擴展性和至少與濺射沉積(該領域常用)相當的沉積速率是絕對必要條件。 COMPex 激光器的高穩定性(脈沖間能量穩定性和光束均勻性)對于提供薄膜均勻性和緊密的層厚控制至關重要”。

為了形成 TCO 薄膜，Morales-Masis 團隊使用了 Twente Solid State Technology (TSST) 的 PLD 系統，其中準分子激光束在一個固體靶上來回掃掠，對要沉積到基板(安裝在一個圓形平臺上，該平臺在沉積過程中不斷旋轉)上的材料進行燒蝕。 這可確保在包含四個太陽能電池基板的支架上均勻地沉積薄膜。

結果

高沉積壓力和 PLD 法室溫制備的摻雜 Zr 的 In2O3 TCO 薄膜使半透明鹵化物鈣鈦礦太陽能電池呈現 15.1% 的功率轉換效率。 這在無緩沖堆棧上得到了證明，證實了 PLD 作為一種“低損傷”沉積技術的潛力 [1]。 該小組目前正著手研究金屬鹵化物鈣鈦礦的 PLD [2]，以利用 PLD 的另一項優勢： 多組分材料的化學計量轉移。 這種無溶劑、在幾分鐘內大面積形成金屬鹵化物鈣鈦礦薄膜的能力在未來太陽能電池生產中很有前景。

審核編輯 黃宇