來源：TOKYO ELECTRON

前言

近日，Tokyo Electron(TEL)、富士金株式會社和TMEIC株式會社共同開發出一款調控半導體制造的沉積工藝中臭氧濃度的新型監測儀，并對該監測儀與臭氧發生器的兼容性進行全面測試。此次的聯合開發也是TEL發起并推動的供應鏈倡議E-COMPASS的一部分。

01
背景BACKGROUND半導體制造過程的沉積步驟需要使用臭氧來形成各種氧化物薄膜，并通過可靠的臭氧濃度檢測儀實時監測臭氧發生器的狀態和性能。傳統的臭氧濃度測量技術之一是紫外吸收法，該方法利用的是臭氧對不同波長的紫外線吸收程度不同的原理，而缺點是，因汞是有害物質，需要對使用了汞紫外的燈源進行定期更換*1。TEL、富士金和TMEIC共同研發的無汞且免維保的臭氧濃度監測儀和臭氧發生器，可以解決這一問題。

02臭氧濃度監測儀的特點FEATURES

不含汞、免維保、低功耗

■ LED紫外光源，保持并優于傳統檢測儀的性能可靠性。

■ 不含汞，對環境不產生有害物質。

■ 與傳統的兩年更換一次燈源的頻率相比，LED燈源具有超過10年的經久耐用程度，免去維保的后顧之憂。

■ 配置LED的監測儀，實現耗電量從25W降至3W（降低88%）。這相當于每臺監測儀每年減少77.1千克的CO2e*2的排放量。

圖：新型臭氧濃度監測儀

03環境價值ENVIRONMENTAL VALUE

減少CO2e排放量和運行成本

此次開發的新型臭氧濃度監測儀適用于半導體制造設備和臭氧發生器。未來五年，臭氧發生器的需求規模將翻一番，采用新型臭氧監測儀有望幫助工廠減少310噸CO2e排放量和約1億日元的燈源更換費用。

04技術共創TECHNOLOGY CO-CREATION

在此次環境技術合作中，富士金與TEL共同開發了臭氧濃度監測器，由TMEIC在其臭氧發生器上對該監測儀進行測試和性能驗證， 從而確保該監測儀適用于多個領域，其中也包括TEL的半導體制造設備和配套設施。

05企業理念CORPORATE PHILOSOPHY

為應對數字化和綠色社會的未來全球趨勢的到來，今后，TEL將一如既往與業務伙伴保持緊密合作，積極提供友好環境的設備并為設備開發環保技術。在這些業務開展過程中，努力踐行"通過先進的技術和可靠的服務，為創造富有夢想的社會做貢獻"的企業理念。