三次元檢測設備又稱三坐標測量儀,簡稱三坐標CMM，三坐標測量機按其工作方式可分為點位測量方式和連續掃描測量方式。點位測量方式是由測量機采集零件表面上一系列有意義的空間點，通過數學處理，求出這些點所組成的特定幾何元素的形狀和位置。連續掃描測量方式是對曲線、曲面輪廓進行連續測量，多為大、中型測量機。

根據三坐標測量儀的結構形式及三個方向測量軸的相互配置位置的不同，三坐標測量機可分為懸臂式、橋式、龍門式、立柱式、坐標鏜床式。它們各有特點及相應的適用范圍如下：
1．懸臂式的特點是結構緊湊、數控機床廠工作面開闊、裝卸工件方便、便于測量，但懸臂易于變形，且變形量隨測量軸丁軸的位置變化，因此丁軸測量范圍受限。
2．橋式測量機結構剛性好，x、y、z方向的行程大，一般為大型機。
3．龍門式的特點是龍門架剛度大，結構穩定性好，精度較高。由于龍門或工作臺可以移動，使裝卸工件方便，但考慮龍門移動或工作臺移動的慣性，龍門式測量機一般為小型機。
4．立柱式適合于大型工件的測量。
5．坐標鏜床式的結構與鏜床基本相同，結構剛性好，測量精度高，但結構復雜，適用于小型工件。

三次元檢測設備三坐標測量儀按測量范圍可分為大型、中型和小型。按其精度可分兩類：

①精密型，一般放在有恒溫條件的計量室，用于精密測量，分辨率一般為0.5~21lm；

②生產型，數控機床廠一般放在生產車間，用于生產過程檢測，并可進行末道工序的精加工。