技術(shù)創(chuàng)新攻關(guān)一個個行業(yè)“堵點”，讓裝備制造企業(yè)迸發(fā)出新活力。6月6日，拜安科技與核電運行研究院聯(lián)袂發(fā)布工業(yè)級壓力變送器產(chǎn)品，該項目具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，填補國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域空白。

此次核電運行研究院和拜安科技的聯(lián)合攻關(guān)，依托MEMS（Micro Electro Mechanical Systems微機電系統(tǒng)）光纖傳感技術(shù)，結(jié)合我國自主化三代核電機組對核級壓力變送器的需求，開展具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的工業(yè)級光纖傳感器研發(fā)。歷經(jīng)2年時間，已經(jīng)研發(fā)設(shè)計出符合核電環(huán)境條件下可靠的壓力變送器產(chǎn)品。為此，拜安科技還將在嘉定投資1.5億元，建設(shè)一條芯片級模組自動化封裝和壓力標定的產(chǎn)線。

4平方毫米能做什么？

在上海拜安半導(dǎo)體有限公司的展示廳，工作人員向記者展示了一顆用于工業(yè)級壓力變送器的MEMS光纖壓力計芯片，僅僅4平方毫米的這一顆芯片，就能完成一臺大型傳統(tǒng)光學干涉儀的精確測量功能。

“這就是我們的MEMS光纖壓力計芯片，它通過異質(zhì)聚集成的方式將基礎(chǔ)的硅材料、玻璃材料、光學膜集成在一起。就是把大型的光學干涉儀芯片化，相當于把大象的體積壓縮到螞蟻的體積大小。高精度的壓力傳感器的應(yīng)用場景是非常廣闊的。”上海拜安半導(dǎo)體有限公司技術(shù)人員介紹。

“MEMS光纖傳感器”作為工業(yè)級壓力變送器的核心技術(shù)之一，實現(xiàn)了核電工業(yè)對高精度、高安全級壓力變送器的需求，是一次質(zhì)的突破。

近年來，數(shù)智化的升級對重大裝備領(lǐng)域為代表的重點基礎(chǔ)設(shè)備的實時健康監(jiān)測，提出了更高要求。但傳統(tǒng)MEMS傳感器在高溫、電磁干擾等極端環(huán)境中仍存在局限性。隨著光纖傳感技術(shù)的蓬勃發(fā)展，拜安科技的MEMS光纖傳感技術(shù)有望解決這一難題。

“一個核電機組大概會用到幾千個壓力變送器，一個壓力變送器大概有4-6顆核心的傳感器芯片。如果從整個市場規(guī)模來說，高端的壓力變送器每年的市場規(guī)模近100億元。目前，拜安科技的產(chǎn)品除了在國內(nèi)不斷拓展市場之外，在東南亞以及歐洲一些地方已經(jīng)有批量性出貨。我們計劃在嘉定半導(dǎo)體產(chǎn)線上面再投資建立一條標準化、自動化的芯片級模組封裝和壓力標定產(chǎn)線，預(yù)計年產(chǎn)值達10億元左右。”上海拜安半導(dǎo)體有限公司總經(jīng)理郭涼杰介紹。

據(jù)介紹，拜安科技是國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，國家高新技術(shù)企業(yè)，建設(shè)有CNAS實驗室和投資2億元的6吋MEMS工藝線，其產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于船舶、風電、石油化工、航空航天、電力、軌道交通等領(lǐng)域。

可以期待的是，這里將會有一項項“卡脖子”技術(shù)得到突破，一個個“專精特新”產(chǎn)品進入市場。

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