近年來，電磁波譜中的太赫茲（THz）部分已被證明是推動大量新研究方向的有利平臺。其中一個例子就是基于超構材料（metamaterial）的等離子體領域。它涉及許多新的現象，例如頻譜調制、波前操控、偏振轉換和有源超構材料等。太赫茲頻率范圍內超構材料最有前途的應用領域之一是生物傳感。

在太赫茲頻率，基于超構材料的方法已占據領先地位，為集成到完整的芯片實驗室（lab-on-chip）器件鋪平了道路。最近的文獻報道表明，用于生物傳感、介電光譜和近場成像功能的全集成電子解決方案正逐步擴展到亞太赫茲（sub-THz）和太赫茲頻率范圍。

使用超構材料進行生物傳感的最常見方法仍然是將介電材料覆蓋在諧振結構的表面，從而改變諧振器的特性并使其諧振頻率發生偏移。隨后，通過基于遠場傳感的傳輸實驗（見圖1）來測量頻率偏移。在太赫茲頻率，人們一直在努力提高基于諧振頻移的傳感器的靈敏度水平，以滿足生化診斷領域既定方法的標準。

圖1 基于諧振頻移的生物傳感

據麥姆斯咨詢報道，近日，波蘭科學院高壓物理研究所（Institute of High Pressure Physics PAS）和立陶宛維爾紐斯大學（Vilnius University）的研究人員組成的團隊提出了一種全電子方法，利用近場耦合電子傳感器實現了最先進的靈敏度。所提出的概念能夠有效地實現和探測所謂的超強耦合亞波長超構原子（meta-atom）以及單個諧振電路，可使被測材料的體積限制在幾皮升的范圍內。該傳感器已單片集成到具有成本效益的硅基CMOS技術中。本文的研究結果得到了數值和分析模型的支持，并通過實驗進行了驗證。這些成果為未來的研發奠定了基礎，勾勒出了太赫茲微流控芯片實驗室介電光譜傳感器的前景。上述成果以“A CMOS-integrated terahertz near-field sensor based on an ultra-strongly coupled meta-atom”為題發表于Scientific Reports期刊上。

基于太場效應晶體管（TeraFET）的近場傳感器設計

研究人員提出了一種在亞太赫茲頻率下工作的近場傳感器解決方案（圖2）。

圖2 基于近場TeraFET探測器的傳感器概念的示意圖

研究人員設計了兩種不同的狹縫-偶極子（slot-dipole）天線，并采用臺積電（TSMC）的180 nm硅基CMOS工藝制造。其中一種被設計為諧振頻率為350 GHz，并在更高頻率處會出現快速衰減（圖2b中的結構A），而另一種的諧振頻率為235 GHz，并在較寬的頻率范圍內具有幾乎平坦的響應（圖2c中的結構D）。這兩種天線的環外徑相同，均為452 μm。由于D型天線是為低頻設計的，因此與A型天線的狹縫（邊長為100 μm、邊緣倒角為25 × 25 μm的正方形孔）相比，它的狹縫更大（直徑為164 μm的圓形）。此外，兩種天線的傳輸線設計也不同。

得益于多層金屬-介電結構，CMOS技術為探索太赫茲應用中基于超構材料的場效應晶體管（FET）解決方案提供了充分的自由度。因此，研究人員設計了一種工作在350 GHz的開口環諧振器（SRR），其面積為70 × 30 um2，間隙為10 μm，金屬化寬度為5 μm。該SRR具有與350 GHz天線相同的諧振頻率，可與之電磁耦合。

天線位于距離自由空間最近、距離襯底最遠的金屬層。因此，它對施加到間隙近場的介電負載非常敏感。單獨的天線/耦合到SRR的天線的阻抗特性的頻譜變化會直接轉化為FET整流信號的變化。因此，覆蓋介電材料的天線的TeraFET探測器將給出與未覆蓋介電材料的探測器不同的信號。因此，可通過從襯底側施加的遠場太赫茲輻射來探測被測試材料的近場介電特性。特別是，在圖2中，研究人員展示了通過基于耦合諧振器的TeraFET探測器進行近場檢測的概念可視化。圖2c和2d顯示了兩種不同方案中的太赫茲檢測機制：一種基于獨立天線；另一種基于天線耦合到SRR的耦合諧振器。

近場傳感方法的驗證

為了對傳感器的適用性進行實驗驗證，研究人員重點研究了基于235 GHz天線的探測器和基于耦合諧振器的探測器（350 GHz諧振天線與SRR耦合）對水和乙醇的響應。

傳感器所需的太赫茲源部分可以進一步優化。圖3展示了研究人員使用內部設計的基于CMOS的太赫茲發射器進行光譜實驗的結果，該發射器可在248-261 GHz頻率范圍內進行調諧。發射器采用了針對三次諧波發射進行優化的Colpitts振蕩器概念，由臺積電代工廠提供的65 nm CMOS技術制造。圖3a展示了使用全電子CMOS制造的發射器-傳感器對的實驗設置。

圖3 傳感實驗的設置及結果

在相同的自由空間準光學設置中，連續波光混頻器源（太赫茲源三號）被用于探測近場介電特性。基于235 GHz天線的探測器和基于耦合諧振器的探測器在255–260.5 GHz頻率范圍內對乙醇和水的響應分別如圖3b和3c所示。

最后，研究人員使用基于235 GHz諧振天線的探測器進行了一組實驗，以確定水溶液中材料的最低可分辨摩爾濃度的檢測下限（LDL），并與當前最先進技術進行了比較（圖4）。

圖4 水中含乙醇混合物的實驗測量結果以及與最先進技術的比較

綜上所述，這項研究報道了基于太赫茲近場諧振器的傳感器的設計和表征結果，該傳感器采用180 nm CMOS技術制造，并具有集成天線的場效應晶體管。根據諧振器近場內相對介電常數變化引起的諧振曲線偏移原理，提出的傳感器提供了一種獨特的片上檢測機制。此外，該傳感器具有當前太赫茲傳感技術前沿的更低檢測極限值，并且無需通過共軛機制和聚合酶鏈式反應等放大靈敏度或特異性的方法，就能以無標記的方式對水環境中的有機分析物實現檢測。

總之，這項研究成果不僅有助于加深人們當前對太赫茲近場傳感的理解，而且還為高頻微流控芯片實驗室介電光譜傳感器的開發奠定了基礎。

論文鏈接：
https://doi.org/10.1038/s41598-024-61971-x