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利用連續(xù)滴定工藝制備一種高品質(zhì)HgTe量子點(diǎn)短波紅外探測器

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-04-07 09:54 ? 次閱讀
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碲化汞(HgTe)納米晶體具有可調(diào)諧紅外吸收光譜、溶液可加工性、低制造成本以及易與硅基電路集成等特點(diǎn)。這為新一代低成本紅外探測技術(shù)的發(fā)展提供了新的思路。盡管目前已在合成規(guī)模化基可控性方面取得巨大進(jìn)步,但對于高品質(zhì)HgTe量子點(diǎn)而言仍然存在挑戰(zhàn)。因此,開發(fā)高品質(zhì)HgTe量子點(diǎn)的可控、規(guī)模化制造工藝具有重要的研究和應(yīng)用價值。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,由華中科技大學(xué)組成的科研團(tuán)隊(duì)在Small Methods期刊上發(fā)表了以“Short-Wave Infrared Detection and Imaging Employing Size-Customized HgTe Nanocrystals”為主題的文章。該論文的第一作者為Binbin Wang,通訊作者為藍(lán)新正教授。

研究人員利用HgTe量子點(diǎn)高臨界成核濃度的特點(diǎn),提出了一種連續(xù)滴定(CD)添加陰離子前驅(qū)體的的方法。緩慢的反應(yīng)動力學(xué)能夠?qū)崿F(xiàn)HgTe量子點(diǎn)的尺寸定制合成,使HgTe量子點(diǎn)具有尖銳的激子帶尾態(tài)特性和寬吸收范圍(完全覆蓋短波紅外至中波紅外波段)。更重要的是,連續(xù)滴定工藝的內(nèi)在優(yōu)勢確保了在不影響激子特性情況下,HgTe量子點(diǎn)的高均勻性及放大合成。與傳統(tǒng)快速熱注入法相比,這種連續(xù)滴定工藝顯著提高了成核過程的可控性,實(shí)現(xiàn)了HgTe量子點(diǎn)的可控和規(guī)模化制備。

圖1展示了基于LaMer-Dinegar機(jī)制,傳統(tǒng)快速熱注入法與該研究新開發(fā)的連續(xù)滴定合成工藝的對比示意圖。圖2a為使用連續(xù)滴定工藝獲得的不同尺寸HgTe 量子點(diǎn)的代表性吸收光譜。

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圖1 (a)傳統(tǒng)快速熱注入合成,(b)連續(xù)滴定合成

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圖2 HgTe量子點(diǎn)的材料表征

連續(xù)滴定工藝中的慢反應(yīng)動力學(xué)使研究人員能夠探索支鏈HgTe量子點(diǎn)的形成機(jī)理。圖3中的透射電子顯微鏡(TEM)圖像顯示了四足形狀HgTe量子點(diǎn)隨反應(yīng)時間的形態(tài)演變。然后,研究人員驗(yàn)證了連續(xù)滴定工藝在合成可重復(fù)性和規(guī)模化生產(chǎn)方面的優(yōu)勢。

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圖3 不同反應(yīng)時間的HgTe量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)的形貌變化

接著,為了評估HgTe量子點(diǎn)的表面可加工性,研究人員采用連續(xù)滴定工藝制備的HgTe量子點(diǎn)構(gòu)成了底柵架構(gòu)的場效應(yīng)晶體管(FET),如圖4a所示。為了進(jìn)一步展示了連續(xù)滴定工藝在器件應(yīng)用方面的優(yōu)勢,研究人員分別采用熱注入法和連續(xù)滴定工藝制備了吸收截止波長為1.7 μm的HgTe量子點(diǎn)器件,相關(guān)對比結(jié)果如圖5所示。

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圖4 基于連續(xù)滴定的HgTe量子點(diǎn)構(gòu)成的FET器件

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圖5 基于熱注入法與連續(xù)滴定工藝的HgTe量子點(diǎn)器件性能對比

最后,研究人員利用p-i-n結(jié)構(gòu)將連續(xù)滴定合成的HgTe量子點(diǎn)堆疊集成到HgTe量子點(diǎn)薄膜晶體管(TFT)成像儀中。圖6a為其平面結(jié)構(gòu),圖6b為TFT集成架構(gòu),圖6c為TFT芯片短波紅外(SWIR)成像過程示意圖,圖6d和圖6e為自制納米晶體TFT的成像展示。

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圖6 基于連續(xù)注入法合成的1.7μm HgTe量子點(diǎn)的成像展示

研究人員通過連續(xù)滴定工藝獲得的HgTe量子點(diǎn)具有尖銳的帶邊吸收,反映了材料具有優(yōu)異的帶尾態(tài)特性;同時其吸收范圍覆蓋了短波紅外至中波紅外波段。隨后,研究人員制備了HgTe量子點(diǎn)材料,并構(gòu)建了高性能HgTe量子點(diǎn)短波紅外探測器。該器件在室溫條件下獲得的比探測率達(dá)8.1× 1011 Jones。這項(xiàng)研究中的連續(xù)滴定工藝可進(jìn)一步降低高品質(zhì)HgTe量子點(diǎn)材料的制備門檻,對其商業(yè)化應(yīng)用推廣具有重要價值,同時,該方法也為其它量子點(diǎn)材料的可控性、規(guī)模化制備提供了助益。

論文鏈接:

https://doi.org/10.1002/smtd.202301557



審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:利用連續(xù)滴定工藝,制備高品質(zhì)HgTe量子點(diǎn)短波紅外探測器

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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