AMHS，全稱自動化物料傳送系統，是半導體智能制造的重要一環。一個典型晶圓廠Fab內，多類型工藝設備需要緊密聯動完成數以千計的工序流轉，保證產能及產品良率。如何安排物料流轉，實現在更短的時間、復雜的生產環境中找到實時最優且柔性的自動化方案，打造真正的Fully Auto晶圓廠——AMHS是12寸、8寸及化合物半導體的最優解決方案。

無論是前道廠還是封測廠，通過天車傳輸都能最大化地面空間利用，同時具備快速、穩定、高精度和高潔凈度的傳輸能力，從而最大程度地確保人、機、料的安全。此外，配備了智能算法的物料控制系統（MCS）和天車控制系統（MOC），能夠實現對整廠物料的可追溯性。這為工廠管理者提供了可靠、實時的數據統計報告和傳輸改進建議，有助于提高產線自動化效率。

華芯（嘉興）智能裝備有限公司（“HIMC”)是一家以半導體AMHS國產替代為立足點，利用核心自主知識產權，為客戶提供專業可靠、自主可控的泛半導體智能制造解決方案的綜合服務商。華芯智能為客戶提供高精度、高穩定性的先進制造整廠自動化規劃、改造、實施、運維全流程服務，公司已獲評“浙江省專精特新中小企業”、“嘉興市高新技術研究開發中心”，同時為SEMI協會半導體智能制造委員會成員。

自2016年起，華芯智能即致力于半導體AMHS、晶圓搬運自動化設備及關鍵零部件等產品的自主研發、 生產、銷售及售后維護，已構筑圍繞 FAB 廠物料傳送為核心的完整產品矩陣，包括以 OHT、Stocker、Lifter等核心部件為主的AMHS（自動化物料傳送系統），以 Sorter、EFEM、Load Port 等為主的晶圓搬運自動化設備產品序列，以及以物料管控、搬運派工為主的軟件產品 MCS、MOC及機臺端控制軟件。

作為國產領先的AMHS供應商，華芯智能全系產品均在半導體頭部客戶量產線完成驗證及壓力測試，可靠性、傳輸精度均獲好評。公司核心知識產權及技術架構均自主可控，可滿足客戶多樣化定制需求。全系產品均獲SEMI認證及ISO9001質量管理體系認證。

半導體產業鏈自主化將會是未來的主旋律。AMHS作為晶圓廠整廠高精自動化系統，掌握核心生產數據及產線動態，具有戰略意義。提供國產領先的AMHS智能制造解決方案、實現中國智造是華芯智能一直以來的重要驅動力。此次，華芯智能將出席2024 SEMI-e第六屆深圳國際半導體展，在更高維度、更深層次上賦能半導體制造業高質量發展。

展品推薦

1

半導體AMHS天車系統-第四代天車“飛兔”

華芯提供晶圓廠AMHS天車系統全系列產品——OHT、Stocker、Lifter、OHB、Conveyor等，提供天車硬件系統、存儲系統、跨層傳輸系統及配套軟件MCS和MOC等全流程定制化服務。全套技術自主可控，產品精度、穩定度、潔凈度、安全性均經產線負載量產長周期驗證，產品案例覆蓋8寸/12寸前道制造、8/12寸先進封測，核心性能比肩海外大廠，獲行業頭部客戶認可。

2

半導體智能制造軟件系統MCS、MOC

華芯智能為客戶提供全面的軟件系統服務：物料管控系統（MCS）、天車調度系統（MOC）、整廠自動化仿真模擬（simulation）、智能工廠大數據平臺、數字孿生等。

產品采用最新技術架構，圍繞泛半導體產線核心需求設計，運用智能算法最大程度優化交通調度及產線管控能力，提升產線運行效率，為運輸、存儲、故障維護提供科學精準的決策依據。產品已在客戶端完成壓力及可靠性驗證，支持24小時快速響應。

3

晶圓搬運自動化設備EFEM、Sorter、Load Port

華芯智能致力于為客戶提供從部件到系統的標準及非標晶圓搬運解決方案，提供Sorter、EFEM等晶圓搬運自動化設備及抓手、aligner等零部件，同時提供如Embedded sorter等特殊工藝環節定制產品，可處理各種特殊硅片（穿孔、超薄、翹曲）及碳化硅晶圓，提供接觸式和非接觸式等多種傳輸方案。

?定制設計：模塊化設計，軟件支持參數化配置，支持標準及非標自動化定制；

?性能優異：高精度、高安全性和高可靠性；

?交期快：性價比及交期顯著優于海外供應商；

?全流程專業服務：專業技術團隊，快速響應客戶需求。

4

AMHS立體倉儲庫-STOCKER

Stocker為半導體工廠晶圓立體倉儲庫，主要用于12寸及8寸晶圓料盒自動搬送、存儲及管理。

?安全設計：具備可靠的安全設計和碰撞保護功能，保護晶圓和人身安全；

?定制化方案：可定制功能和尺寸，提供NTB和OHB等多種緩存方案，提升FAB物料流轉效率和空間利用率；

?嚴格品質管控：已取得ISO質量管理體系認證和SEMI認證，已在頭部客戶端完成驗證，產品質量穩定領先。

AMHS作為半導體智能制造的重要一環，正在實現半導體供應鏈自主化這一復雜而充滿挑戰的深層變革。此次SEMI-e 第六屆深圳國際半導體展集結了一批半導體智能制造企業，華芯智能作為其中的一員，與更多志同道合企業持續聚焦智能制造，不斷突破技術創新范疇，實現共同進步。

審核編輯：劉清