來源：深圳市智能傳感行業協會

3月6日上午，光明區工業和信息化局、深圳市智能傳感行業協會共同組織的MEMS中試線企業需求研討會在光明公用服務平臺舉行。速騰聚創、漢威科技、美思先端、海譜納米、南科大、格物感知、國微感知、戴維萊、比特原子、天陸海、智芯微納、萬感科技等十多家MEMS相關企業和機構負責人參會。

MEMS（微機電系統）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，通過半導體制造等微納加工手段，形成特征尺度為微納米量級的具有機械結構的系統裝置。

MEMS工藝與傳統的IC工藝有許多相似之處，MEMS借鑒了IC工藝，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學機械拋光工藝等，對于毫米甚至納米級別的加工技術，傳統的IC工藝是無法實現的，必須得依靠微加工，進行精細的加工，能達到想要的結構和功能。

相比一般的集成電路芯片（IC），MEMS制造工藝不追求先進制程，而更注重功能特色化，即利用微納結構或/和敏感材料實現多種傳感和執行功能，工藝節點通常從500nm到110nm，襯底材料也不局限硅，還包括玻璃、聚合物、金屬等。

會上，與會代表聽取了光明區智能傳感器產業發展情況，并就如何通過MEMS產線建設推動智能傳感器產業發展進行探討。企業表示，因為MEMS傳感器具有一種產品一種加工工藝的特點，因此對中試線也有著不同的需求，如運營團隊專業性，設備工藝的兼容性，服務的時效性與配合度，如何滿足更多種類的工藝特點，對知識產權的保護等等。

企業表示，部分工藝可通過6寸線或實驗線來完成，然后再上8寸線，這樣在良品率、開發進度等方面效率將更高，也能夠節省部分成本。在模式方面也可以考慮讓部分有能力的企業參與運營，或者適當開放部分空間給企業放置自己的設備來完成前道工藝。

目前MEMS傳感器研發中試平臺由于建設投入大、專業性高已成為共性需求，企業自身的技術儲備、專業能力各不相同。與會企業表示希望能夠做一些定期的培訓，共同做標準如標準器件、標準工藝，并將自己的know-how放到PDK里，不斷地充盈PDK，大家一起做開發時就會提高效率。

審核編輯 黃宇