三坐標測量儀三次元檢測設備的開啟步驟如下：

01、至少提前24h打開空調，恒溫足夠時間后待實驗室溫度達到18-22攝氏度，濕度在40-60%之間后再開啟設備。

02、檢查壓縮空氣，要求外部氣壓在6-8bar之間，通氣前需要檢查氣源是否有油和水，如果有的話需要提前排空，需要確保三坐標上的過濾單元設定氣壓為5Bar。

03、確認設備上各個位置的急停開關已經拔出。

04、三坐標通電時要避免與其他大型設備同時啟動，防止同一時間電路上過大負載，造成三坐標控制系統損壞。

05、使用設備前，需要用無塵布加少量無水酒精沿著單一方向清潔所有導軌并清潔標準球和所有探針。