三星電子啟動了“智能傳感系統”研發，此舉力圖提升產能及轉換半導體工廠運行模式。此項系統主打生產過程實時監測與分析功用，當前已能自如應對等離子體均勻性的問題。三星計劃于2030年前逐步實現無人工干預的芯片工廠全自動化運作。

未來十年，三星的終極目標在于打造完全無人化的半導體生產設施。要達到此成就，需建立能高效處理海量數據并自行優化設備性能的完備體系。據預測，智能傳感系統將在實現智能化和全自動化晶圓廠的關鍵環節中發揮決定性作用。三星目前已斥資數億韓元投向如智能感應器等相關項目，期待長遠回饋。

眼下研發中的智能傳感器專為精準度測量晶圓上等離子體分布而設計。眾所周知，半導體制造過程中的蝕刻、沉積和清洗等步驟，受等離子體均勻性的影響極大，因此在此領域進行精密評估和管理尤為關鍵。

這款智能傳感系統經由團隊協同研發而來，囊括眾多國內外的合作伙伴和學術機構的貢獻。該新型傳感器最大特點在于體積小巧，可直接接入現有晶圓廠，無需額外空地，這對于潔凈室環境尤為難得。

此外，值得一提的是，這些傳感器皆源自韓國本土設計和制造。過去，以三星為代表的韓國芯片制造商對洋裝備高度依賴，而今獨立研發出智能傳感系統即意味著這種依賴格局發生重大變革，盡管三星所用的絕大部分設備仍來自海外產地。