MEMS突出的優(yōu)點(diǎn)是利用微電子技術(shù)把傳感器、執(zhí)行器和處理電路這三部分集成在一起，組成單片集成傳感器或系統(tǒng)，更可以實(shí)現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造，已廣泛用于信息、汽車、消費(fèi)、工控等領(lǐng)域，并成為國際競爭的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。那么功率放大器如何為MEMS傳感器測試提供激勵信號呢？今天Aigtek安泰電子就為大家答疑解惑~

深究傳感器和MEMS的發(fā)展過程，二十世紀(jì)六十年代剛出現(xiàn)微加工器件，七十年代主要研究新的技術(shù)和擴(kuò)展應(yīng)用方面，八十年代系列生產(chǎn)更為復(fù)雜的器件，九十年代是集成敏感系統(tǒng)的發(fā)展，2000年以后無線微系統(tǒng)開始發(fā)展。

什么是MEMS傳感器？

傳感器是當(dāng)今數(shù)字世界的重要組成部分之一。由于所有的計(jì)算和處理都是在數(shù)字信號上完成的，因此在模擬世界和數(shù)字電子設(shè)備之間應(yīng)該有一個(gè)媒介。傳感器彌合了這一差距，因?yàn)樗鼈冇糜谟^察模擬物理參數(shù)的時(shí)間效應(yīng)并產(chǎn)生有意義的信息（對計(jì)算機(jī)）。

傳感器的現(xiàn)代定義有時(shí)令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設(shè)備，這些元件感測溫度或濕度等物理量并將其轉(zhuǎn)換為電信號。傳感器還由信號處理單元（如放大器、濾波器或ADC）或這些元件的組合組成。

不同類型的MEMS傳感器

MEMS技術(shù)的主要實(shí)施者之一是汽車行業(yè)。現(xiàn)代汽車使用大量傳感器，其中大多數(shù)是基于MEMS的設(shè)備。以下是現(xiàn)代汽車中使用的MEMS傳感器列表。

l加速度計(jì)–用于電子穩(wěn)定控制和安全氣囊展開。

l慣性測量單元或IMU（它們是MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀的組合）-用于測量自動駕駛的偏航，俯仰和滾動。

l磁力計(jì)–用于導(dǎo)航中使用的方向。

l壓力和慣性傳感器–用于制動控制。

l壓力傳感器–胎壓監(jiān)測系統(tǒng)。

l氣流傳感器–進(jìn)氣監(jiān)測。

l燃油傳感器–燃油液位指示器。

l碰撞和碰撞傳感器–碰撞檢測和安全氣囊展開。

lMEMS麥克風(fēng)–用于通信和降噪。

l溫度傳感器–用于自動氣候控制和發(fā)動機(jī)溫度監(jiān)控。

l還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應(yīng)用。

前置微小信號放大器如何為MEMS傳感器測試提供激勵信號？

確定MEMS傳感器的輸入規(guī)格：包括頻率、功率、阻抗等參數(shù)。

選擇合適的功率放大器類型：根據(jù)MEMS傳感器的需求，選擇適當(dāng)?shù)墓β史糯笃黝愋停贛EMS傳感器測試過程中我們常會用到ATA-5620前置微小信號放大器，來進(jìn)行信號的放大。

ATA-5620前置微小信號放大器

帶寬：（-3dB）1kHz~100MHz

電壓：2Vp-p（50Ω）

電壓增益：60dB

連接前置微小信號放大器和MEMS傳感器：將功率放大器的輸出端與MEMS傳感器的輸入端正確連接。

調(diào)整功率放大器的參數(shù)：根據(jù)MEMS傳感器的需求，調(diào)整功率放大器的增益、輸出功率、輸出阻抗等參數(shù)，以確保提供適當(dāng)?shù)募钚盘枴?/p>

進(jìn)行測試：使用適當(dāng)?shù)臏y試儀器和軟件，對MEMS傳感器進(jìn)行測試，觀察其響應(yīng)和性能。

審核編輯：湯梓紅