晶圓AOI檢測設備，使用線掃描相機，沿X方向對晶圓上的每個晶粒進行掃描，同時在掃描到每個晶粒時，相機會在Z方向做上下的微調整，用于準確地對焦。當一行掃描完成后，相機會在Y方向移動到下一行晶粒，繼續之前的動作，直到整個晶圓掃描完成。

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PCIe-833x EtherCAT運動控制卡介紹

凌華科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT運動控制卡，能夠同時支持多達64個同步軸和超過10,000 個I/O 點。PCIe-833x具有專用的隔離緊急停止輸入(EMG) 和可配置的隔離高速數字輸入，不僅具有通用傳感器輸入，而且具有高達1MHz 輸入頻率的脈沖輸入。

在250μs 的最小通訊周期內提供最佳的抖動控制，優化半導體、電子制造等自動化應用領域的同步I/O 性能。

PCIe-833x產品特性

?通過EtherCAT 可實現多達64 軸的運動控制和10,000 個I/O 點控制

?EtherCAT 控制周期高達250μs

?兼容大多數EtherCAT從站

?專用的緊急停止輸入

?板卡自帶4通道隔離數字輸入/4通道隔離數字輸出

?單通道脈沖輸入

?針對軌跡應用的點表功能

?支持最高達16D直線插補，3D圓弧插補和3D螺旋插補

?對于獨立的應用，提供8個程序可下載功能

?支持從站ID設置

晶圓AOI檢測

晶圓AOI檢測功能需求

1）兩軸插補功能。

2）2D觸發功能（在掃描過程中，相機在Z軸方向做上下對焦動作）。

PCIe-833x解決方案：

1）兩軸插補中使用PT功能，客戶可以指定在同一個時間點X及Z的位置，以及相關各軸的速度，用到的函數和語法如下，

APS_pt_motion_add_point

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_add_point ( I32 Axis_ID, I32 ArraySize, F64 *PositionArray, F64 *TimeArray ); Visual Basic: APS_pt_motion_add_point(ByVal Axis_ID As Long, ByVal ArraySizeAs Long, PositionArrayAs Double, TimeArrayAs Double) As Long

APS_pt_motion_get_status

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_get_status( I32 Axis_ID, I32 *FreeSize, I32 *PointCount, I32 *State ); Visual Basic: APS_pt_motion_get_status (ByVal Axis_ID As Long, FreeSize As Long, PointCountAs Long, StateAs Long) As Long

APS_pt_motion_start

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_start (I32 Dimension, I32 *Axis_ID_Array, I32 Enable ); Visual Basic: APS_pt_motion_start(ByVal Dimension As Long, Axis_ID_Array As Long, ByVal Enable As Long) As Long

APS_pt_motion_reset

Syntax: C/C++:

I32 APS_pt_motion_reset (I32 Axis_ID); Visual Basic: APS_pt_motion_reset (ByVal Axis_ID As Long) As Long

調試界面如下，

2）2D觸發功能

2D觸發功能通過外接ECAT-TRG4 4通道高速位置比較和觸發模塊實現，ECAT-TRG4 是 EtherCAT從端模塊，具有高速位置比較觸發和編碼器單個信號中繼功能，該模塊的規格如下，

?4 通道點表觸發-最大10 MHz帶FIFO 255 點

?4 通道線性觸發 - 最大10MHz

?4 通道位置鎖存 - 最大3 MHz帶 255 點

?硬件緊急停止接口

?通過主站最多支持 32 組龍門功能

?軸參數的斷電記憶

?支持編碼器信號中繼功能

?支持高級點表

需要用到的函數和語法如下，

APS_set_field_bus_multi_trigger_table

Syntax：

C/C++：

I32 APS_set_field_bus_multi_trigger_table( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *DataArray, I32 ArraySize , I32 Window );

APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp

Syntax：

C/C++：

I32 APS_get_field_bus_multi_trigger_table_cmp( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 Dimension, MCMP_POINT *CmpVal );

APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count

Syntax：

C/C++：

I32 APS_get_field_bus_multi_table_cmp_remain_count( I32 Board_ID, I32 BUS_No, I32 MOD_No, I32 MTCmpCh, I32 *Cnt );

審核編輯：劉清