W系列3d光學輪廓儀是以白光干涉技術為原理（用于光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的設備），能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。

測量原理

利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

3d光學輪廓儀具體測量步驟以測量單刻線臺階為例：

在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。

在計算機上打開測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的最低點，再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，儀器儀可自動進行掃描測量，測量完成后，轉件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數據分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數。

W系列3d光學輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。其特殊的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。